Чому ми використовуємо інфрачервоні нагрівачі у камерах для обробки напівпровідників
Коли ви працюєте на заводі з виробництва напівпровідників, „чистота“ – це не просто завдання; це все. Не можна допустити наявності жодної краплі пилу чи інших домішок, які можуть зіпсувати роботу.
Саме тому ми використовуємо інфрачервоні нагрівачі всередині камер для обробки напівпровідників. Більшість людей уявляє собі нагрівання як підняття температури повітря, але інфрачервоне випромінювання є іншим. Воно використовує електромагнітне випромінювання. Замість того, щоб нагрівати повітря, енергія потрапляє безпосередньо до матеріалу. Не потрібні системи примусової циркуляції повітря, немає ризику забруднення. Це справжнє чисте нагрівання.
Як досягти стандартів „без свинцю“
Старомодні теплові печі можуть створювати проблеми. Їм часто потрібні хімічні каталізатори для ефективного нагрівання.
Інфрачервоне нагрівання уникає всіх цих проблем. Воно просто змушує молекули самого матеріалу вібрувати. Чи то сушення пластини, чи обробка фотополімеру – тепло потрапляє безпосередньо до матеріалу.
Оскільки передача енергії є дуже ефективною, не потрібно використовувати важкі хімічні розчинники, які раніше використовувалися для зниження температури під час обробки матеріалів зі свинцем. Крім того, оскільки джерело тепла знаходиться фізично окремо від продукту, досягнення стандартів „без свинцю“ стає значно простішим.
Енергія, швидкість та ризик пошкодження
Ми зазвичай обираємо ці елементи залежно від довжини хвилі – короткохвильові чи середньохвильові – залежно від товщини матеріалу.
Короткохвильове випромінювання є найефективнішим. Воно проникає глибше та швидше. Це дозволяє швидко підняти температуру, що значно скорочує час виконання процедур. Це справді зручно. Не потрібно марнувати енергію на повільне нагрівання печі. Все готово за кілька секунд.
Але потрібно бути обережним щодо щільності потоку енергії. Якщо занадто багато ватт потрапляє на невелику площу, краї матеріалу можуть пошкодитися. Щоб цього уникнути, ми завжди використовуємо контролери PID. Це допомагає підтримувати стабільну температуру та уникати небажаних наслідків.
Усе це разом
Найкраще те, що ці елементи можна легко замінити на старі резистивні нагрівачі. Вони економлять багато простору. Не потрібні великі кондукційні канали, які займають місце. Оскільки не потрібно нагрівати весь об’єм камери, витрати на енергію також зменшуються.
Один порада: слідкуйте за ущільнювачами. Інфрачервоне випромінювання є дуже потужним, і якщо воно потрапить у неправильне місце, це може пошкодити панелі для спостереження. Якщо ви будете слідувати цим правилам, робота буде значно простішою.