Як підтримувати чистоту у поверхні ваших кристалів у класі чистоти 100
Якщо ви нагріваєте кремнієві пластини у середовищі класу чистоти 100, ви вже знаєте, що це означає. Одна-єдина частинка пилу – всього лише один мікрон – може зробити всю партію продукції непридатною до використання.
Проблема полягає у тому, що більшість стандартних елементів нагріву є джерелом забруднень. Вони виділяють мікроскопічні частинки пилу щоразу, коли нагріваються та охолоджуються. Це справжня катастрофа.
Ми вирішуємо цю проблему, використовуючи лампи інфрачервоного випромінювання з високою чистотою синтетичного кварцу. Їх спеціально розроблено для використання у сфері напівпровідників, де поняття „чистоти“ має зовсім інше значення, ніж у нас.
Боротьба з частинками пилу
Ми використовуємо кварц із дуже низьким рівнем домішок. Чому? Тому що це запобігає вивільненню металевих іонів чи утворенню шматочків матеріалу під час нагрівання.
Перед тим, як закріпити ці лампи, ми проводимо їх ретельне очищення. Ми усуваємо будь-які можливі забруднення з їх поверхні. Таким чином, коли ви увімкнете лампу, на поверхню кристала потрапляє лише інфрачервоне випромінювання. Нічого іншого – жодних шматочків, жодного пилу, жодних несподіванок.
Правильне регулювання температури
Важлива не лише чистота, а й точність регулювання температури. Ми налаштовуємо ці лампи так, щоб вони випромінювали короткохвильове інфрачервоне випромінювання. Це дозволяє швидко та рівномірно нагріти поверхню кристала. Таким чином уникається утворення холодних точок на поверхні кристала.
Однак є одна проблема: високочистий кварц є досить делікатним матеріалом. Він може витримати перепади температур, але не може витримати ударів чи пошкоджень.
Ще одна порада: використовуйте кріплення, сумісне з умовами вакууму. Інакше ви лише спричините нове забруднення у вашій камері, що зведе нанівець всю користь від використання цих ламп.
Встановлення ламп у вашу систему
Ці лампи розроблені так, щоб їх можна було легко встановити замість старих. Вони підходять за розмірами та електричними характеристиками до тих пристроїв, які ви вже використовуєте. Тож вам не доведеться переробляти всю систему живлення.
Є лише одна річ, на яку потрібно звернути увагу: переконайтеся, що ваша система охолодження здатна впоратися з теплом, яке випромінюється кристалом. Якщо це не так, філамент лампи може згоріти значно раніше, ніж це необхідно.