IC için kompakt kızılötesi kurutucu

Fri, 05 Jun 2026 01:10:46 +0800

Lithografi katında, yumuşak pişirme ve sert pişirme sadece sıcaklık adımları değil - iyi desen sadakati ile atık hale gelen bir wafer arasındaki çizgidir. Wafer üzerinde birkaç derece kayma, hat genişliği varyasyonu olarak kendini gösterir. Ve eğer pişirme adımı parçacıkları havalandırıyorsa, hattı kirletiyorsunuz. Bu değişkenleri ortadan kaldırmak için IC için kompakt kızılötesi kurutucu geliştirdik.

İçeride önemli olanlar Kızılötesi emicileri, enerji iletimi için optimize edilmiş bir odanın içinde kullanarak enerjiyi doğrudan fotoresiste boşaltır, taşıyıcıya değil. 300 mm’lik bir wafer üzerinde termal uniformite ±0.1°C’de, döngüden döngüye tekrarlanabilirlik ise ±0.2°C içinde kalır. Isınma hızları 10°C/s’ye kadar çıkar, böylece pişirme süresini kısaltırken yığın üzerinde aşırı stres yaratmazsınız. Sınıf 1–100 temiz odalarda yerleşmek üzere tasarlanmıştır: kuvars ve anodize alüminyum yollar, düşük gaz salınımı olan malzemeler ve parçacık sayısını sabit tutan laminer akış profili. Sıfır parçacık üretimi bir slogan değil - bir tasarım kısıtlamasıdır ve bunu yerinde izleme ile doğruluyoruz. Bu, IC hattında neden işe yarıyor Alan dar ve işlem pencereleri dardır. Bu kurutucu, fotoresist pişirmeyi belirleyici hale getirir, böylece CD kontrolü sıkılaşır ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. Ayak izi, hattın hemen yanına yerleştirilecek kadar küçüktür ve hızlı stabilize olur, böylece partiler arasında boş zaman kesilir. Emici doğrudan yükü vurduğundan ve termal kütle düşük olduğundan, enerji kullanımı düşer. Güvenilirlik, kesintisiz çalışmaya dayanır: 24/7 için derecelendirilmiş bileşenler ve ardışık çalışmaları aşırı ısınma olmadan idare eden bir termal mimari. Gerçekten planlamanız gereken şeyler Kompakt demek, tak-çalıştır anlamına gelmez. Hala özel bir egzoz ve temiz, kuru havaya ihtiyacınız var. Kurulum toleransları sıkıdır - wafer teslimatına hizalamayı doğrulayın ve robotun ihtiyaç duyduğu boşluğa sahip olduğundan emin olun. Standart hat arayüzleriyle temiz bir şekilde entegre olur, ancak resist yığınınız için pişirme profilini sabitlemek üzere siteye özel bir yeterlilik çalışması yürütün. Üretimde sayıları tutmanın yolu budur.

Kompakt on Warm IR Heating Hardware

IC için kompakt kızılötesi kurutucu