http://warm-ir-heater-ware.com/tr/tags/epitaksi/ Recent content in Epitaksi on Warm IR Heating Hardware Hugo tr Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/tr/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/tr/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Epitaksi ısıtma kızılötesi lambası"></p> <p>Hattın dışında, 200 mm’lik wafeler, fotorezist uygulanması için sıralarını bekliyor. Isıtma işlemi isteğe bağlı değil; bu bir zorunluluktur. Sıcaklıkta meydana gelen en ufak bir değişiklik bile kritik boyutların değişmesine neden olur ve bu da üretimi durdurur. Bu sorunu önlemek için epitaksiyel ısıtma işlemlerinde kızılötesi lambalar kullanıyoruz.</p> <p>Teknik açıdan önemli olan şeyler şunlardır: Hızlı ve doğrudan ısıtma sağlamak için kısa dalga boylu kızılötesi (NIR) kuvars halojen lambalar kullanılır. Bu lambaların spektrumu silikon ve ince filmlere etkili bir şekilde nüfuz eder. Sistem, işlem bölgesindeki wafelerin sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutar; tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C aralığında kalır.</p>