http://warm-ir-heater-ware.com/ru/tags/%D1%8D%D0%BF%D0%B8%D1%82%D0%B0%D0%BA%D1%81%D0%B8%D1%8F/ Recent content in Эпитаксия on Warm IR Heating Hardware Hugo ru Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ru/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ru/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Инфракрасная лампа для нагрева в процессе эпитаксии"></p> <p>На линии производства находится пластина диаметром 200 мм, которая ждет своей очереди для обработки фотополимером. Процедура нагрева является обязательной — это часть технических требований. Даже незначительное изменение температуры на долю градуса может привести к изменению критических размеров пластины. В таком случае процесс становится бесполезным. Мы используем инфракрасные лампы для нагрева, чтобы минимизировать такие потери.</p> <p>С технической точки зрения важно то, что мы используем кварцевые галогеновые лампы с коротковолновым излучением для быстрого и прямого нагрева. Спектр излучения хорошо проникает в кремний и тонкие слои. Система обеспечивает однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C во всей зоне обработки; повторяемость результатов составляет ±0,2°C от цикла к циклу.</p>