Контроллер цифрового инфракрасного сушителя

Tue, 14 Jul 2026 12:07:22 +0800

Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в процессе полупроводниковой обработки
Подумайте о принципе работы горячего воздуха: сначала нагревается воздух, а затем этот воздух нагревает деталь. Это своего рода посредническая система. В процессах глубокой обработки полупроводников такой «посредник» становится препятствием для эффективной обработки.

Мы видим это постоянно в процессе сушки: воздух должен проникнуть через слой воздуха, находящийся непосредственно над поверхностью детали. Этот процесс занимает много времени. Это медленный и неэффективный способ обработки. Честно говоря, это раздражает, когда приходится ждать.

Инфракрасная лампа для нагрева в процессе эпитаксии

Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800

На линии производства находится пластина диаметром 200 мм, которая ждет своей очереди для обработки фотополимером. Процедура нагрева является обязательной — это часть технических требований. Даже незначительное изменение температуры на долю градуса может привести к изменению критических размеров пластины. В таком случае процесс становится бесполезным. Мы используем инфракрасные лампы для нагрева, чтобы минимизировать такие потери.

С технической точки зрения важно то, что мы используем кварцевые галогеновые лампы с коротковолновым излучением для быстрого и прямого нагрева. Спектр излучения хорошо проникает в кремний и тонкие слои. Система обеспечивает однородность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C во всей зоне обработки; повторяемость результатов составляет ±0,2°C от цикла к циклу.

Инфракрасное Излучение on Warm IR Heating Hardware

Контроллер цифрового инфракрасного сушителя

Инфракрасная лампа для нагрева в процессе эпитаксии