Aquecedor semicondutor aprovado pela CE

Fri, 03 Jul 2026 02:47:52 +0800

Na linha de produção, o processo de aquecimento a 95°C não vem acompanhado de nenhum aviso especial. Isso se manifesta como uma série de wafers danificados e um rendimento que ninguém pediu. Na litografia, a temperatura não é apenas mais um parâmetro – ela é parte essencial do processo.

O que realmente importa O aquecedor é certificado pela norma CE e é composto por um elemento de infravermelho de onda curta e um sistema térmico baseado em quartzo. Ele mantém a uniformidade da temperatura nas wafers dentro de ±0,1°C em toda a superfície de aquecimento. O circuito de controle mantém a temperatura dentro dos limites estabelecidos, mesmo quando há trocas rápidas de lotes. O equipamento foi projetado para ser utilizado em salas limpas de classe 1–100, sem geração alguma de partículas. Dia após dia, obtém-se perfis de aquecimento estáveis, com repetibilidade térmica dentro dos limites mais rigorosos.

Aprovado on Warm IR Heating Hardware

Aquecedor semicondutor aprovado pela CE