Por que substituímos o ar quente por lâmpadas de infravermelho no processo de processamento profundo
Se você ainda depende da circulação de ar quente para aquecer seus wafers, na verdade está apenas perdendo tempo.
Pense nisso: o ar quente é apenas um meio de convecção. Você aquece o ar, e o ar, por sua vez, aquece o substrato. Você gasta muito tempo esperando que o calor chegue até lá. É um processo lento. Há um atraso que pode ser percebido facilmente.
Ao usar lâmpadas de infravermelho de alta pureza, tudo muda. Em vez de aquecer o ambiente inteiro, você envia radiação eletromagnética diretamente para o alvo, à velocidade da luz. É instantâneo.
Quando os tempos de aquecimento e resfriamento diminuem drasticamente, a produção aumenta significativamente. Se você conseguir reduzir 30 segundos em cada ciclo, não estará apenas economizando tempo – mas também obterá ganhos consideráveis ao final do turno de trabalho. Isso significa mais produtos produzidos.
Mas não basta simplesmente usar uma lâmpada halógena qualquer.
Em um vácuo cheio de gases corrosivos, uma lâmpada comum não funcionará. Usamos quartzo sintético de alta pureza, pois não podemos permitir que haja impurezas no vidro, pois isso prejudicaria a qualidade dos wafers. É simples assim.
Mas o verdadeiro segredo está na densidade de potência. Conseguimos concentrar muitos watts em um espaço pequeno. Isso permite que você atinja a temperatura desejada imediatamente. Não há mais necessidade de esperar que o ar se movimente pelo ambiente. O calor chega exatamente onde é necessário.
Mas não é tudo maravilha. Existem alguns detalhes aos quais você precisa prestar atenção.
As lâmpadas de infravermelho são direcionais. Elas não “circulam” pelo ambiente como o ar faz; elas precisam de uma linha de visão clara. Se a posição das lâmpadas não for correta, haverá áreas frias nos wafers. Você precisa escolher cuidadosamente onde colocar essas lâmpadas.
E mais um aviso: essas lâmpadas de alta potência ficam muito quentes, especialmente nas extremidades. Se seus conectores ou sistemas de refrigeração não forem adequados, eles podem queimar.
Se você usar o equipamento correto, tudo ficará bem.