http://warm-ir-heater-ware.com/pl/tags/epitaksja/ Recent content in Epitaksja on Warm IR Heating Hardware Hugo pl Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/pl/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/pl/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampa podczerwona do podgrzewania w epitaksji"></p> <p>Na linii produkcji znajduje się płyta o rozmiarze 200 mm, która czeka na aplikację fotorezystu. Proces suszenia jest konieczny – stanowi element wymagań technicznych. Nawet niewielka zmiana temperatury o ułamek stopnia może wpłynąć na rozmiary płyty. W takim przypadku proces staje się nieskuteczny. Aby uniknąć tego problemu, zastosowaliśmy lampy podczerwieni do ogrzewania płyty.</p> <p>Pod względem technicznym istotne jest to, że używamy halogenowych emiterów podczerwieni o krótkich falach, aby uzyskać szybkie i efektywne ogrzewanie. Spektrum światła dobrze przenika do krzemu oraz cienkich warstw. System zapewnia jednolitość temperatury na poziomie płyty w przedziale ±0,1°C w całej strefie procesowej, natomiast powtarzalność wynosi ±0,2°C między poszczególnymi cyklami.</p>