Uitdrogen on Warm IR Heating Hardware

Energieaudit voor droogproces in fabriek

Fri, 17 Jul 2026 01:53:20 +0800

Koolstofvermindering in de halfgeleiderfabrieken: een betere manier van drogen
Laten we eerlijk zijn: halfgeleiderfabrieken zijn enorme energieverbruikers. Het grootste deel van deze energie wordt gebruikt voor thermische verwerking en droging. Als je nog steeds ouderwetse convectiestoven gebruikt, betaal je eigenlijk alleen maar om een enorme metalen kist en lucht op te warmen. Dat is zonde.

Als je echt wilt verminderen hoeveel koolstof je uitstoot, moet je stoppen met het opwarmen van de ruimte en in plaats daarvan de chip zelf opwarmen. Hier komt infraroodstraling om de hoek kijken.

Verwarmer voor het drogen van Micro LED wafers

Wed, 01 Jul 2026 06:23:55 +0800

Op de productieafdeling heb je geen kans om het proces opnieuw te starten als de temperatuur ook maar een klein beetje afwijkt. Een kleine afwijking tijdens het drogen van de fotoresist kan ertoe leiden dat de hele Micro LED-epiwafer beschadigd raakt. Je hebt dus een droogheater nodig die de temperatuur op een niveau houdt van ±0,1°C over de hele oppervlakte – bij elke behandeling, elke schift.

Wat belangrijk is achter de schermen
Wij gebruiken infraroodelementen met een snelle respons en een gesloten regelsysteem, zodat het thermische profiel zich van schift tot schift nauwkeurig herhaalt. De uniformiteit op het niveau van de wafer moet op ±0,1°C liggen. De hete zone is ontworpen voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100, zonder dat er particules worden gegenereerd.

Waferdrogen infraroodverwarmer

Tue, 09 Jun 2026 00:50:32 +0800

Op de productielijn is Waferdrogen niet zomaar een volgende stap. Het is de laatste thermische controle voordat de opbrengst wordt vastgelegd.
Een koude plek tijdens IR-drogen verschijnt als een watervlek. Een overshoot duwt de hardheid van de photoresist buiten specificatie. Beide resulteren in een defect op de chip. Onze IR-verwarmers zijn ontworpen om die onzekerheid uit te sluiten, door stabiele, reproduceerbare warmte precies op de plek van de wafer te leveren.

Dit is wat er onder de motorkap echt telt. De unit werkt met kortegolf-infrarood met snelle respons en strakke regeling, zodat de temperatuur snel herstelt na het laden van een wafer. Thermische uniformiteit op wafer-niveau blijft binnen ±0,1°C over de hete zone, wat de soft bake en hard bake vensters beschermt.