Reflector on Warm IR Heating Hardware

Reflector voor wafer curinglamp

Wed, 22 Jul 2026 02:00:58 +0800

Waarom goudcoateerde reflectoren belangrijk zijn voor het drogen van wafers

Bij het drogen van wafers moet je rekening houden met een beperkt energieverbruik. De meeste mensen gebruiken standaardaluminiumreflectoren, maar dit heeft een nadeel: veel van de warmte ontsnapt gewoon naar het chassis van de machine. Dat is verspilde energie.

Daarom gebruiken we goud. Het klinkt misschien luxueus, maar het is puur praktisch. Goud is uitstekend in staat om nabije-infraroodlicht precies terug te kaatsen naar waar het nodig is: rechtstreeks op de wafer.

Aluminiumreflector voor IR lamp

Sun, 12 Jul 2026 05:32:50 +0800

Hoe u uw wafers veilig houdt: de waarheid over storingen bij IR-lampen

Laten we eerlijk zijn: een gebroken IR-lamp is echt een nachtmerrie.
Een seconde werkt alles nog prima, en de volgende seconde barst de kwartsbuis. Plotseling vallen er deeltjes en chemicaliën op uw wafers. De productie is verwoest. De lijn stopt met werken. Het is een puinhoop die je echt niet wilt hebben.
Dát is precies waarom we onze verwarmingssystemen op deze manier ontwerpen.

Waarom de aluminiumreflector belangrijk is

U zou denken dat de aluminiumreflector alleen maar bedoeld is om hitte te weerkaatsen. Maar hij doet veel meer dan dat.
Door de IR-straal precies daarheen te sturen waar het nodig is – recht op de wafer – voorkomen we dat de behuizing van de lamp te veel hitte opneemt. Hierdoor blijft de temperatuur van de buis stabiel.
Als u probeert een lamp te gebruiken zonder een goede reflector, zal de hitte zich op de verkeerde plekken ophopen. Dit zorgt voor veel stress op het kwarts. En wanneer het kwarts onder druk komt te staan? Dan barst het.

Infraroodlamp met gouden reflector

Thu, 04 Jun 2026 00:38:04 +0800

Op de productievloer leer je snel dat een afwijking van een halve graad tijdens het bakken van fotoresist de lijnbreedtes genoeg kan verschuiven om een groot aantal wafers af te keuren. Uptime en herhaalbaarheid zijn geen “nice to have”. Ze zijn het proces.

Wat er echt toe doet onder de motorkap

We hebben de infrarode lamp gebouwd met een gouden reflector om stabiele, gerichte warmte te leveren met strakke spectrale controle. Het resultaat is temperatuuruniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over het bakoppervlak. De gouden reflector verhoogt de stralingsrendement, waardoor de opwarmtijd korter is en de ingestelde waarde sneller stabiliseert.
Je krijgt consistente output na meer dan 5.000 uur gebruik, met minder dan 5% intensiteitsverlies. En het ontwerp zorgt ervoor dat de deeltjesgeneratie nul blijft, wat standhoudt in cleanroomomgevingen van klasse 1–100.