http://warm-ir-heater-ware.com/nl/tags/halogeen/ Recent content in Halogeen on Warm IR Heating Hardware Hugo nl Wed, 17 Jun 2026 11:10:40 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/nl/posts/quartz-halogen-heating-bulb-for-semiconductor/ Wed, 17 Jun 2026 11:10:40 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/nl/posts/quartz-halogen-heating-bulb-for-semiconductor/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Kwarts halogeenverwarmingsbuis voor halfgeleiders"></p> <p>Op de 300mm-lijn betekent een verschil van 2°C tijdens het zachte bakproces niet alleen dat er een verschuiving in de afmetingen van de chip optreedt. Het betekent ook dat er veel waferstarten verspild worden. Daarom hebben we een kwarts-halogeenverlichting ontwikkeld die ervoor zorgt dat de temperatuur binnen de gewenste grenzen blijft, zelfs wanneer de fabriek op volle toeren draait.</p> <p><strong>Wat belangrijk is onder het oppervlak</strong> De emitter is een kortegolfhalogeenlamp die zich bevindt in een omhulsel van hoogzuiver kwarts. Hierdoor wordt er snel warmte gegenereerd, met weinig thermische inertie. Op het oppervlak van de wafer blijft de temperatuur binnen ±0,1°C, zodat de fotoresist een constante temperatuur <a href="https://o-yate.net">ervaart</a> en er geen hete plekken zijn. Het profiel van de lamp zorgt er bovendien voor dat de temperatuur optimaal wordt gecontroleerd, zowel tijdens het zachte als het harde bakproces. De output blijft stabiel genoeg om de kritieke afmetingen binnen de vereiste grenzen te houden. De compatibiliteit met schone ruimtes van klasse 1–100 wordt gewaarborgd door het gebruik van materialen met minimale uitstoot van gassen, en door een constructie die geen partikels produceert wanneer deze heet wordt.</p>