Drogen on Warm IR Heating Hardware

MEMS sensorwafer droogheater

Sun, 26 Jul 2026 10:00:18 +0800

Waarom je moet stoppen met het gebruiken van hete lucht voor het drogen van MEMS-wafers
Als je ooit bent geweest in een fabriek voor MEMS-productie, weet je hoe het werkt. Eerst word de wafer met natte methoden geëtst of gereinigd. Daarna moet de vochtigheid van de wafer worden verwijderd. In veel ouderwetse fabrieken wordt hiervoor gebruik gemaakt van hete lucht. We zien dit overal.

Maar hier is het probleem: hete lucht is langzaam. Het proces is afhankelijk van convectie, waardoor het erg lang duurt voordat de wafer echt droog is. Bovendien zorgt het blazen van lucht er juist voor dat er stofdeeltjes op de wafer terechtkomen, op plekken waar ze niet horen te zijn.

Het drogen van halfgeleiders vóór verpakking in de fabriek

Mon, 22 Jun 2026 18:47:10 +0800

Net voordat het product verpakt wordt, blijft er nog wat vocht achter na het schoonmaken. Dit vocht kan niet zomaar blijven zitten – het kan zich verspreiden in de beschermende laag rondom het product. Dit heeft invloed op de CTE-waarde en kan leiden tot delaminatie later. En als je nog steeds conventionele hittebronnen gebruikt, weet je hoe lastig het is om een consistente temperatuur te behouden. Er moet dus gedroogd worden en moet er gebruik worden gemaakt van fotoresistenten die op een nauwkeurige manier kunnen worden gebruikt.

Goedkope waferdrooglampbol

Thu, 18 Jun 2026 00:52:08 +0800

Op de lithografieafdeling kan een lichte verschuiving in de baktemperatuur leiden tot problemen met de controle van de dikte van de fotorezystlaag. Een te hoge temperatuur op één plek en een te lage temperatuur op een andere plek zorgt er uiteindelijk voor dat de fotorezyst niet meer goed functioneert. Het drogen van de wafers is geen onbelangrijk onderdeel van het proces – het heeft invloed op de kwaliteit van de productie. We hebben onze lampen zo ontworpen dat de temperatuur nauwkeurig onder controle blijft, zelfs wanneer rekening moet worden gehouden met beperkingen qua budget.