Stop met het verspillen van warmte in uw halffabricageapparaten
De meeste verwarmings elementen werken op een behoorlijk slordige manier: ze sturen energie in alle richtingen. In een halfgeleiderfabriek is dit een groot probleem.
Stel u voor: u probeert een wafer op te warmen, maar u verhit tegelijkertijd ook de binnenkant van uw apparaat. Dat is zonde van energie, en het vormt bovendien een veiligheidsrisico voor iedereen die met het apparaat werkt. We lossen dit op door gebruik te maken van gerichte IR-verwarming.
Hoe het werkt
In plaats van dat de warmte zich verspreidt in het apparaat, gebruiken gerichte IR-lampen reflectoren en golflengtestelling om de energie precies waar nodig te dirigeren. Hierdoor wordt de warmte omgezet in een nauwkeurig gefocust straalveld. De wanden van het apparaat worden dus geen ‘ hete zones’, waardoor technici geen brandwonden oplopen of omdat het apparaatframe vervormt door thermische uitzetting. De warmte blijft gewoon op de juiste plek.
De details
U kunt de lampen kiezen op basis van de hoeveelheid warmte die u echt nodig hebt. We gebruiken meestal kortegolfgietkwartsbuizen, omdat deze snel op temperatuur komen. Ze werken op standaard industriële spanningen, zodat ze gemakkelijk kunnen worden geïntegreerd in uw bestaande systeem. Als u hoge vermogensbuizen nodig hebt voor snelle verwerking, zorg er dan voor dat uw koelventilatoren sterk genoeg zijn om de warmte te kunnen verwerken.
Wat dit betekent voor de productie
Het grootste voordeel is dat de wanden van het apparaat koel blijven aan het toucher. U hoeft niet meer te vechten tegen de constante warmte die het apparaat opneemt uit de omgeving. Dit is een grote opluchting voor uw team, en het voorkomt ook dat de gevoelige elektronica in de buurt van het apparaat beschadigd raakt.
Het overstappen op deze technologie is meestal eenvoudig: u hoeft alleen de oude verwarmer te vervangen. U heeft dan veel meer controle over de temperatuur van de wafer, en er is een veiliger werkomgeving voor de medewerkers.
Let wel: omdat de stralen zo nauwkeurig zijn, moet u bij de installatie wat precisie betrachten. Als u iets te veel of te weinig afwijkt, zullen er koude plekken op het substraat ontstaan.