Op de 300mm-lijn betekent een verschil van 2°C tijdens het zachte bakproces niet alleen dat er een verschuiving in de afmetingen van de chip optreedt. Het betekent ook dat er veel waferstarten verspild worden. Daarom hebben we een kwarts-halogeenverlichting ontwikkeld die ervoor zorgt dat de temperatuur binnen de gewenste grenzen blijft, zelfs wanneer de fabriek op volle toeren draait.
Wat belangrijk is onder het oppervlak De emitter is een kortegolfhalogeenlamp die zich bevindt in een omhulsel van hoogzuiver kwarts. Hierdoor wordt er snel warmte gegenereerd, met weinig thermische inertie. Op het oppervlak van de wafer blijft de temperatuur binnen ±0,1°C, zodat de fotoresist een constante temperatuur ervaart en er geen hete plekken zijn. Het profiel van de lamp zorgt er bovendien voor dat de temperatuur optimaal wordt gecontroleerd, zowel tijdens het zachte als het harde bakproces. De output blijft stabiel genoeg om de kritieke afmetingen binnen de vereiste grenzen te houden. De compatibiliteit met schone ruimtes van klasse 1–100 wordt gewaarborgd door het gebruik van materialen met minimale uitstoot van gassen, en door een constructie die geen partikels produceert wanneer deze heet wordt.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie Bij lithografie heeft de temperatuurrepetitie rechtstreeks invloed op de productieefficiëntie. Met deze lamp kan men de lijndikte nauwkeuriger bepalen, waardoor er minder defecte chips ontstaan. Ook wordt er minder drift in de temperatuur waarnomen, zodat deze niet meer moet worden gecorrigeerd tijdens het bakproces. De snelle thermische reactie verkort de cyclusduur, zonder dat er fouten optreden. De stabiele output zorgt er bovendien voor dat er minder afval ontstaat. De apparaten hebben al meer dan 5.000 uur lang gewerkt, met minder dan 5% daling in de output. Dit leidt tot minder onderhoudsactiviteiten en minder ongeplande stilstand. De energieverbruik is laag, omdat de warmte precies overeenkomt met de oppervlakte van de wafer, en niet met de massa van de kamer.
Tips voor het gebruik De lamp heeft geen last van lokale hete plekken. Monteer hem dus volgens de voorgeschreven richting en luchtcirculatie. Controleer ook de geometrie van de reflector en de temperatuurbepaling van het stopcontact – anders zal de verhitting oneffen zijn. De lamp is compatibel met standaard OEM-apparatuur. Zorg er echter voor dat de integratie tijdens het preventieve onderhoud goed wordt gecontroleerd, zodat er geen problemen ontstaan met de connectors en zodat de kwaliteit van de schone ruimte behouden blijft.