http://warm-ir-heater-ware.com/ms/tags/epitaksia/ Recent content in Epitaksia on Warm IR Heating Hardware Hugo ms Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ms/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ms/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampu inframerah untuk pemanasan proses epitaksi"></p> <p>Di garisan pengeluaran, wafer berukuran 200 mm menunggu giliran untuk diberi lapisan photoresist. Proses pemanasan ini bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat wajib dalam proses pengeluaran. Sebarang perubahan suhu <a href="https://henruite.com">sekecil</a> mana pun akan menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal wafer tersebut. Oleh itu, sistem pemanasan yang digunakan harus sangat tepat agar dapat mengelakkan masalah ini.</p> <p>Dari segi teknikalnya, kita menggunakan pencahayaan inframerah berfrekuensi rendah untuk memastikan pemanasan yang cepat dan efektif. Spektrum cahaya ini dapat meresap dengan baik ke dalam silikon dan lapisan tipis lainnya. Sistem ini mampu mengekalkan suhu wafer pada tahap yang seragam, sekitar ±0.1°C, sepanjang proses pengeluaran. Ketepatan pengulangan proses pula adalah sekitar ±0.2°C antara setiap kali proses dilakukan.</p>