Di kilang pengeluaran cip kuantum ini, kadar kejayaan pengeluaran cip tidak bergantung pada nasib semata-mata. Ia bergantung sepenuhnya pada kawalan suhu. Perubahan suhu sebanyak beberapa darjah semasa proses pembakaran bahan photoresist boleh merosakkan wafer tersebut, sekali gus membuang masa berbulan-bulan yang digunakan untuk proses integrasi cip. Kami telah mencipta Pemanas khusus untuk kilang pengeluaran cip kuantum ini, agar variasi suhu dapat dikurangkan sepenuhnya.
Apa yang benar-benar penting
Kami menggunakan gelombang inframerah jarak pendek (SWIR) melalui tingkap kuarsa, bersama-sama dengan elemen pemanas yang diperkuat dengan serat karbon. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan dengan cepat dan efektif. Di kawasan aktif, keseragaman suhu wafer kekal dalam lingkungan ±0.1°C, manakala ketepatan pengulangan proses pula adalah ≤0.05°C. Bagi bilik bersih kelas 1–100, reka bentuk ini memastikan pengeluaran gas yang minimum, serta tiada zarah yang dihasilkan semasa proses pemanasan. Dengan ini, sistem akan berfungsi secara berterusan tanpa sebarang gangguan, dengan jangka hayat yang melebihi 50,000 jam.
Mengapa ia sesuai untuk proses pengeluaran cip kuantum
Pemanas ini direka khas untuk langkah-langkah yang diperlukan dalam pengeluaran cip kuantum, seperti proses litografi, pembakaran bahan photoresist, dan kawalan suhu yang sangat penting. Suhu dapat dikawal dengan cepat, sehingga masa yang diperlukan untuk proses pemanasan menjadi lebih singkat. Ini seterusnya membolehkan kawalan ketepatan yang lebih baik, pengurangan jumlah kerja yang perlu dilakukan semula, dan masa proses yang dapat dirancang dengan lebih baik. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana tindak balas pantas terhadap perubahan suhu bermakna masa yang diperlukan untuk proses pemanasan menjadi lebih singkat, sehingga penggunaan tenaga per wafer juga berkurangan.
Apa yang perlu dirancang sebelum memasangnya
Pemasangan pemanas ini memerlukan sumber kuasa 24VDC yang khusus, serta pengasingan termal yang baik daripada komponen lain. Jika hal ini tidak dilakukan, stabiliti suhu akan terjejas. Pemanas ini menyokong protokol SECS/GEM, tetapi integrasinya hanya akan berjaya jika semua komponen disambungkan dengan betul terlebih dahulu. Selain itu, ruang yang diperlukan untuk pemasangan juga perlu dirancang terlebih dahulu, kerana aliran udara dan jarak antara komponen mempengaruhi keseragaman suhu.
Kami merancang segalanya agar proses pengeluaran cip kuantum berjalan lancar, tanpa perlu risau tentang masalah yang mungkin timbul.