Di garisan pengeluaran, wafer berukuran 200 mm menunggu giliran untuk diberi lapisan photoresist. Proses pemanasan ini bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat wajib dalam proses pengeluaran. Sebarang perubahan suhu sekecil mana pun akan menyebabkan perubahan pada dimensi kritikal wafer tersebut. Oleh itu, sistem pemanasan yang digunakan harus sangat tepat agar dapat mengelakkan masalah ini.
Dari segi teknikalnya, kita menggunakan pencahayaan inframerah berfrekuensi rendah untuk memastikan pemanasan yang cepat dan efektif. Spektrum cahaya ini dapat meresap dengan baik ke dalam silikon dan lapisan tipis lainnya. Sistem ini mampu mengekalkan suhu wafer pada tahap yang seragam, sekitar ±0.1°C, sepanjang proses pengeluaran. Ketepatan pengulangan proses pula adalah sekitar ±0.2°C antara setiap kali proses dilakukan.
Masa tindak balas sistem ini kurang dari 50 ms, jadi suhu wafer dapat dikawal dengan tepat semasa proses pemanasan. Reka bentuk sistem ini juga memastikan kebersihan ruang kerja, iaitu pada tahap Kelas 1–100, tanpa adanya zarah-zarah debu. Selain itu, housing Lampu dibuat daripada bahan berkualiti tinggi untuk mengurangkan pelepasan gas.
Mengapa sistem ini berkesan? Dalam proses litografi, kita memerlukan proses pemanasan yang konsisten untuk memastikan ketebalan lapisan photoresist tetap stabil. Dalam proses pembungkusan, kita memerlukan proses pengeringan yang tepat tanpa memanaskan bahan yang digunakan. Dalam proses pembersihan dan pengeringan pula, kita memerlukan haba yang terkawal untuk menghilangkan pelarut tanpa menyebabkan masalah lain.
Lampu-lampu ini memberikan kawalan yang tepat, dan ia menggunakan tenaga yang lebih sedikit berbanding dengan oven konvensional. Masa yang diperlukan untuk proses pemanasan juga lebih singkat. Kami telah melihat unit-unit ini beroperasi selama 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5%, yang bermakna penggantian lampu jarang diperlukan, dan proses pengeluaran tetap stabil.
Apa yang perlu anda ketahui terlebih dahulu: Proses pemasangan lampu ini memerlukan penyelarasan antara struktur mekanikal alat tersebut dengan antaramuka elektriknya. Anda perlu mengetahui voltan yang diperlukan, jenis sambungan, serta cara penyejukan – sama ada menggunakan udara atau air – sebelum memesan lampu tersebut.
Cahaya yang dihasilkan oleh lampu ini hanya dapat sampai ke tempat yang dituju, jadi kaki penyangga atau alat penampung lain boleh menyebabkan bayangan dan kawasan sejuk. Penyelarasan posisi lampu dan bentuk pancaran cahayanya merupakan bahagian penting dalam proses pemasangan, bukan sesuatu yang boleh diabaikan.
Anda perlu menunggu sebentar agar lampu tersebut mencapai keadaan stabil, agar dapat memastikan suhu wafer tetap seragam. Setelah itu, proses pengeluaran akan berjalan dengan lancar.