반도체용 석영 할로겐 가열 전구

300mm 생산 라인에서는, 소프트 베이크 과정 중 2°C의 온도 변동은 단순한 CD 위치의 변화에 그치지 않습니다. 이는 웨이퍼를 낭비하는 결과를 초래합니다. 그래서 우리는 공장이 최대 부하 상태에서도 공정 범위 내에서 일관된 열 특성을 유지할 수 있도록 석영 하로...