http://warm-ir-heater-ware.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Warm IR Heating Hardware Hugo ja Sun, 26 Jul 2026 09:54:04 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/comparing-infrared-heating-to-hot-air-circulation-for-mems-wafer-drying/ Sun, 26 Jul 2026 09:54:04 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/comparing-infrared-heating-to-hot-air-circulation-for-mems-wafer-drying/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>なぜ、MEMSウエハーに熱風を当てるのをやめるべきか<br> もしMEMS製造工場で働いたことがあれば、その手順はよくわかるでしょう。湿式エッチングや洗浄を終えたら、次に必要なのは水分を取り除くことです。従来の工場では、単純に熱風をウエハーに当てて乾燥させていました。これは至る所で見られる光景です。</p>