ウェーハ用高精度IRセンサー

Tue, 28 Jul 2026 02:40:40 +0800

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その恐ろしさはご存知でしょう。ほんの微細なほこりの粒——たった1マイクロメートル程度——があるだけで、作業したウェーハ全体が無用のものになってしまいます。

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

Thu, 23 Jul 2026 09:16:26 +0800

熱の漏れを防ぐために：なぜセラミック製のエンドキャップが重要か
一般的な赤外線発信器の問題点は、熱があちこちに散らばってしまうことです。狭い半導体製造装置の中では、これは大きな問題となります。
もしその赤外線エネルギーがウェーハを避けて、装置の内部に当たってしまうと、「熱の蓄積」が起こります。すると、装置のフレームが非常に高温になり、人が火傷する危険性があります。また、冷却システムも過度な負荷を強いられます。これはエネルギーの無駄遣いであり、大きな問題です。
そこで役立つのがセラミック製のエンドキャップです。
つまり、石英管の両端に高耐熱性のセラミック製の「プラグ」を取り付けるのです。これにより、熱が側面から漏れるのを防ぎ、目的の場所へと直接送られます。これにより、乱雑に放散される熱が、集中したビームに変わります。
これにより、装置の性能が大幅に向上します。
このエンドキャップがなければ、発信器の両端は、配線や装置のフレームに向けて熱を放出する小さなヒーターのようなものになってしまいます。この無駄な熱を防ぐことで、ワークピース上の温度が適切に保たれ、装置内の環境も冷たくなります。また、電子機器も熱によって故障する心配がなくなり、作業員も火傷の心配なく装置に触れることができます。
実用的な側面
設置は簡単です。ほとんどの赤外線アレイの場合、特別な処理は必要ありません。配線の再配置も不要です。
しかし、注意すべき点が2つあります。
第一に、物理的なサイズです。このエンドキャップを取り付けると、ランプアセンブリの長さが少し増えます。もし取り付けブラケットのサイズが十分でない場合、隙間の問題が生じる可能性があります。取り付ける前に必ず寸法を確認してください。
第二に、電力の投入方法に注意が必要です。石英とセラミックを接合するため、シール部分には余分なストレスがかかります。電力を急激に上げすぎると、材料が損傷し、シールが壊れる可能性があります。ゆっくりと電力を上げていけば問題ありません。

IRランプ用アルミニウム反射板

Sun, 12 Jul 2026 05:32:48 +0800

ウェーハを安全に守るために：IRランプの故障についての真実
正直に言って、IRランプが壊れると、それは本当に大変な問題です。
一瞬前まではすべて正常に動いていたのに、次の瞬間には石英管が破裂してしまいます。すると、粒子や化学物質がウェーハに降り注ぎます。その結果、製品は台無しになり、生産ラインも停止してしまいます。これは本当に厄介な状況です。
だからこそ、私たちはこのような加熱システムを設計しているのです。

IR on Warm IR Heating Hardware

ウェーハ用高精度IRセンサー

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

IRランプ用アルミニウム反射板