ドレイヤー on Warm IR Heating Hardware

デジタル赤外線乾燥機コントローラー

Tue, 14 Jul 2026 12:07:22 +0800

なぜ半導体の加工において熱風を使わなくなっているのか？
熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのです。これは中間媒体を介した方式です。半導体の高度な加工では、この中間媒体が大きな障害となります。

ウェーハ乾燥機用ランプの交換用電球

Fri, 26 Jun 2026 01:10:42 +0800

ファブの現場では、ウェーハ乾燥用のランプが故障すると、それは単なる停止にとどまらず、フォトレジスト処理が完全に中断されてしまいます。また、加熱温度の変動もすぐに起こり、その結果、線幅のばらつきや歩留まりの低下が生じます。ですから、今すぐ規格に合致する交換用ランプが必要です。

技術的に重要な点 当社のウェーハ乾燥用ランプの交換用電球は、国際的な半導体装置の標準に準拠して作られています。高純度の石英製のケース内にあるハロゲンタングステンフィラメントにより、安定した加熱が実現され、スペクトルも精密に制御されます。また、短波長域の出力が一般的なフォトレジストシステムの吸収特性に合致しているため、正確な熱伝達が可能になります。

ウェーハすすぎ乾燥機用クォーツヒーター

Sun, 07 Jun 2026 01:08:06 +0800

ファブフロアにおいて、ウォーターマークが残る、または温度を±0.1°C以内に保持できないリンスドライヤーはボトルネックではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。クリーンリンス工程後のウエハーは、熱応力を与えず、フォトレジストの歪みを発生させず、粒子を付加しない状態で水分を除去しなければならない。フード下のヒーターは、高速かつ再現性のある加熱を実現し、清浄な状態を維持する必要がある。

我々はリンスドライヤー向けの石英ヒーターを短波赤外応答およびウエハーレベルの熱均一性を基軸に設計している。石英封入体は高純度かつ急速な立ち上がり特性を提供し、内蔵の抵抗素子は100–480 Vの構成範囲で安定した出力をコンパクトな設置面積で保持する。アクティブゾーン全体で±0.1°Cの均一性、ドア開閉後のサブ秒単位での設定温度復帰、クリーンルームクラス1–100に対応しゼロ粒子発生を実現する。熱プロファイルには再現性が組み込まれており、各ベークおよびドライ工程は前回の工程と同等の結果が得られる。

IC用コンパクト赤外線ドライヤー

Fri, 05 Jun 2026 01:10:46 +0800

リソグラフィー工程における重要性

ソフトベイクとハードベイクは、単なる温度管理のステップではなく、パターンの忠実度と廃棄ウエハの境界線です。ウエハ上で数度の温度変動がライン幅の変動として現れます。さらに、ベイク工程で粒子が発生すると、トラックが汚染されます。我々は、これらの変数を排除するために、IC用のコンパクト赤外線ドライヤーを開発しました。

靴乾燥機ヒーター

Tue, 26 May 2026 22:55:28 +0800

産業用シューズドライヤーヒーター：ハロゲン管を使う理由、R7s配線の仕組み、そして熱密度の真実

産業用シューズドライヤーを製造する際、私たちはハロゲン赤外線管に頼っています。正直なところ、それが最もシンプルで迅速かつ狙った場所に熱を届ける方法だからです。
靴の中の湿気を吹き飛ばす必要がありますが、靴全体を熱でダメにしてしまっては意味がありません。そこでこれらの管が活躍します。
私たちは通常、2500W、400Vで仕様を決めています。なぜなら、この組み合わせは小さなスペースに強力な熱を詰め込みつつ、電気負荷を適切に保てるからです。高いエネルギー密度を実現しつつ、システムに過剰な負担をかけないことが重要なのです。