なぜ半導体の加工において熱風を使わなくなっているのか？ 熱風の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのです。これは中間媒体を介した方式です。半導体の高度な加工では、この中間媒体が大きな障害となります。 乾燥処理の際にも同様の問題があります。空気は基板表面の境界層を通過...

ファブの現場では、ウェーハ乾燥用のランプが故障すると、それは単なる停止にとどまらず、フォトレジスト処理が完全に中断されてしまいます。また、加熱温度の変動もすぐに起こり、その結果、線幅のばらつきや歩留まりの低下が生じます。ですから、今すぐ規格に合致する交換用ランプが必要です。 技術的に重要な点 当社...

ファブフロアにおいて、ウォーターマークが残る、または温度を±0.1°C以内に保持できないリンスドライヤーはボトルネックではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。クリーンリンス工程後のウエハーは、熱応力を与えず、フォトレジストの歪みを発生させず、粒子を付加しない状態で水分を除去しなければならな...

リソグラフィー工程における重要性 ソフトベイクとハードベイクは、単なる温度管理のステップではなく、パターンの忠実度と廃棄ウエハの境界線です。ウエハ上で数度の温度変動がライン幅の変動として現れます。さらに、ベイク工程で粒子が発生すると、トラックが汚染されます。我々は、これらの変数を排除するために...

産業用シューズドライヤーヒーター：ハロゲン管を使う理由、R7s配線の仕組み、そして熱密度の真実 産業用シューズドライヤーを製造する際、私たちはハロゲン赤外線管に頼っています。正直なところ、それが最もシンプルで迅速かつ狙った場所に熱を届ける方法だからです。 靴の中の湿気を吹き飛ばす必要がありますが、...