http://warm-ir-heater-ware.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%B3%E3%83%91%E3%82%AF%E3%83%88/ Recent content in コンパクト on Warm IR Heating Hardware Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 01:10:46 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Fri, 05 Jun 2026 01:10:46 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="IC用コンパクト赤外線ドライヤー"></p> <h1 id="リソグラフィー工程における重要性">リソグラフィー工程における重要性</h1> <p>ソフトベイクとハードベイクは、単なる温度管理のステップではなく、パターンの忠実度と廃棄ウエハの境界線です。ウエハ上で数度の温度変動がライン幅の変動として現れます。さらに、ベイク工程で粒子が<a href="https://o-yate.net">発生</a>すると、トラックが汚染されます。我々は、これらの変数を排除するために、IC用のコンパクト赤外線ドライヤーを開発しました。</p>