http://warm-ir-heater-ware.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%84/ Recent content in クォーツ on Warm IR Heating Hardware Hugo ja Mon, 20 Jul 2026 09:07:28 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ Mon, 20 Jul 2026 09:07:28 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ファブランプ用クォーツガラスシールド"></p> <p>ファブ内のランプを長く使い続けるために：クォーツシールドの真実<br> もし、鉛を含まない、<a href="https://o-yate.net">環境</a>に優しい乾燥方式を<a href="https://goldisgood.com">採用</a>したいと思っているなら、従来の加熱方法では不十分だということは既にご存知でしょう。そのため、ほとんどの人々は赤外線を利用した curing 方法を採用しています。空気を加熱するだけでは不十分なので、赤外線は直接基材に作用します。</p> http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/quartz-heater-for-wafer-rinse-dryer/ Sun, 07 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/quartz-heater-for-wafer-rinse-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハすすぎ乾燥機用クォーツヒーター"></p> <h1 id="ファブフロアにおいてウォーターマークが残るまたは温度を01c以内に保持できないリンスドライヤーはボトルネックではなく歩留まりを著しく低下させる要因であるクリーンリンス工程後のウエハーは熱応力を与えずフォトレジストの歪みを発生させず粒子を付加しない状態で水分を除去しなければならないフード下のヒーターは高速かつ再現性のある加熱を実現し清浄な状態を維持する必要がある">ファブフロアにおいて、ウォーターマークが残る、または温度を±0.1°C以内に保持できないリンスドライヤーはボトルネックではなく、歩留まりを著しく低下させる要因である。クリーンリンス工程後のウエハーは、熱応力を与えず、フォトレジストの歪みを発生させず、粒子を付加しない状態で水分を除去しなければならない。フード下のヒーターは、高速かつ再現性のある加熱を実現し、清浄な状態を維持する必要がある。</h1> <p>我々はリンスドライヤー向けの石英ヒーターを短波赤外応答およびウエハーレベルの熱均一性を基軸に設計している。石英封入体は高純度かつ急速な立ち上がり特性を提供し、内蔵の抵抗素子は100–480 Vの構成範囲で安定した出力をコンパクトな設置面積で保持する。アクティブゾーン全体で±0.1°Cの均一性、ドア開閉後のサブ秒単位での設定温度復帰、クリーンルームクラス1–100に対応しゼロ粒子発生を実現する。熱プロファイルには再現性が組み込まれており、各ベークおよびドライ工程は前回の工程と同等の結果が得られる。</p>