http://warm-ir-heater-ware.com/ja/tags/%E3%82%A8%E3%83%94%E3%82%BF%E3%82%AD%E3%82%B7%E3%83%BC/ Recent content in エピタキシー on Warm IR Heating Hardware Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/ja/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="エピタキシャル加熱用赤外線ランプ"></p> <p>ライン上では、200mmのウェーハがフォトレジストを塗布されるのを待っている。ベイク処理は任意のものではなく、仕様上必須の工程だ。温度がわずかに変動しても、ウェーハの寸法に影響が出てしまう。そうなると製造プロセスは停止してしまう。私たちは、このような問題を防ぐために、赤外線ランプを用いてエピタキシャル加熱を行っている。</p>