Perché abbiamo sostituito l’aria calda con lampade a infrarossi nel processo di lavorazione avanzata
Se continuate a utilizzare l’aria calda per riscaldare i wafer, in pratica state solo aspettando che il calore raggiunga il substrato. L’aria calda rappresenta semplicemente un mezzo di convezione: si riscalda l’aria, e quest’ultima a sua volta riscalda il substrato. Si tratta di un processo lento, con un ritardo percettibile.
Passare alle lampade a infrarossi ad alta purezza cambia completamente le cose. Invece di riscaldare l’intera stanza, si invia radiazione elettromagnetica direttamente sul substrato, alla velocità della luce. È istantaneo.
Quando i tempi di avvio e di spegnimento diminuiscono notevolmente, anche la produttività aumenta. Se si riescono a risparmiare soltanto 30 secondi per ogni ciclo, si ottengono vantaggi significativi già alla fine dell’orario di lavoro. Si tratta di una quantità enorme di prodotto in più.
Ma non basta semplicemente inserire una Lampada allogenica nel sistema. In un ambiente vuoto pieno di gas caustici, una lampada standard non funzionerebbe affatto. Utilizziamo quindi quarzo sintetico ad alta purezza, perché non possiamo permetterci alcuna impurità. Anche una piccolissima impurità potrebbe rovinare i risultati del processo di lavorazione. È molto semplice.
La vera magia, però, sta nella densità di potenza. Riusciamo a concentrare una grande quantità di energia in uno spazio ridotto. Questo permette di raggiungere rapidamente la temperatura desiderata. Non c’è più bisogno di aspettare che l’aria venga distribuita nell’ambiente. Il calore arriva esattamente dove è necessario.
Ovviamente, non è tutto perfetto. Ci sono delle cose da tenere in considerazione. Le lampade a infrarossi hanno una direzionalità specifica: non “circondano” il substrato come fa l’aria; hanno bisogno di una linea di vista chiara. Se la posizione delle lampade non è corretta, si creano zone fredde sui wafer. Bisogna quindi prestare attenzione alla posizione delle lampade stesse.
Un avvertimento importante: queste lampade ad alta potenza diventano davvero molto calde, soprattutto nei terminali. Se i cavi o i sistemi di raffreddamento non sono adeguati, i connettori potrebbero danneggiarsi.
Se si utilizza l’equipaggiamento giusto, allora tutto funziona perfettamente.