Mengapa Kita Menggunakan Pemanas IR di Glovebox Semikonduktor
Saat bekerja di pabrik semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar tujuan, melainkan hal yang sangat penting. Tidak boleh ada setitik debu atau sisa zat kimia pun yang mengganggu proses produksi. Itulah mengapa kita menggunakan pemanas inframerah (IR) di dalam glovebox. Kebanyakan orang menganggap pemanasan sebagai cara untuk memanaskan udara, tetapi IR berbeda. IR menggunakan radiasi elektromagnetik. Energi panas langsung ditransfer ke bahan yang dipanaskan, tanpa perlu menggunakan udara panas yang justru akan menimbulkan partikel-partikel kecil dan merusak suasana inert di dalam glovebox. Tidak ada sistem udara panas, sehingga tidak ada risiko kontaminasi. Hanya panas yang bersih saja.
Mencapai Standar “Bebas Timbal” dengan Mudah
Oven termal tradisional sering menjadi masalah. Oven tersebut sering membutuhkan bahan kimia katalis agar bisa berfungsi dengan baik. Namun, teknologi IR tidak memerlukan hal tersebut. Energi panas langsung mempengaruhi molekul-molekul pada bahan tersebut. Baik itu saat mengeringkan wafer maupun mencetak fotoresist, energi panas langsung mengenai bahan tersebut. Karena transfer energinya sangat efisien, kita tidak perlu menggunakan pelarut kimia berat seperti yang biasa digunakan untuk menurunkan suhu panas pada proses pembuatan semikonduktor berbasis timbal. Selain itu, karena sumber panasnya terpisah dari bahan yang dipanaskan, maka memenuhi standar “bebas timbal” menjadi lebih mudah.
Daya, Kecepatan, dan Risiko Kerusakan
Kita biasanya memilih panjang gelombang yang sesuai, baik gelombang pendek maupun gelombang sedang, tergantung pada ketebalan bahan yang akan dipanaskan. Gelombang pendek memiliki daya penembusan yang lebih kuat, sehingga suhu dapat naik dengan cepat. Hal ini membuat waktu proses menjadi lebih singkat. Namun, perlu berhati-hati dengan kepadatan daya yang digunakan. Jika terlalu banyak daya yang diberikan ke area kecil, maka tepi bahan tersebut bisa rusak. Untuk mencegah hal ini, kita selalu menggunakan kontroler PID agar suhu tetap stabil dan menghindari risiko kerusakan akibat panas yang berlebihan.
Keuntungan Penggunaan Pemanas IR
Yang terbaik adalah bahwa pemanas IR dapat digunakan sebagai pengganti pemanas resistif tradisional. Pemanas IR menghemat banyak ruang, karena tidak memerlukan saluran udara yang besar. Karena kita tidak perlu memanaskan seluruh ruang di dalam glovebox, biaya listriknya pun berkurang. Satu hal yang perlu diperhatikan adalah kondisi segel pada glovebox. Panas radiatif sangat kuat, dan jika panas tersebut mengenai bagian yang salah, panel pengamatan bisa rusak. Selama hal ini diantisipasi, maka proses kerja akan menjadi lebih lancar.