अधिकांश मानक हीटिंग तत्व, ऊष्मा को हर दिशा में ही फैला देते हैं। सेमीकंडक्टर उपकरणों में ऐसी स्थिति वाकई एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में “अतिरिक्त ऊष्मा” उपकरणों की दीवारों में ही जम जाती है। जब उपकरणों के आंतरिक हिस्से इतने गर्म हो जाते हैं कि उन्हें छूना भी संभव नहीं होता, तो यह न केवल तापीय स्थिरता संबंधी समस्या होती है, बल्कि यह सुरक्षा संबंधी समस्या भी होती है।
हम इस समस्या को हल करने हेतु उच्च-तीव्रता वाले आईआर लैंपों का उपयोग करते हैं, एवं उन्हें विशेष प्रकार के स्टेनलेस स्टील के आवरणों में ही रखते हैं।
ऊष्मा को ठीक उसी जगह पहुँचाना
दिशात्मक हीटिंग के लिए केवल लैंप ही पर्याप्त नहीं है; इसके लिए रिफ्लेक्टर एवं आवरण भी आवश्यक हैं। हम चमकदार स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम का उपयोग करते हैं, ताकि आईआर तरंगें सीधे वेफर/सब्सट्रेट तक पहुँच सकें।
बाहरी हिस्सों को ढककर हम ऊष्मा को मशीन के फ्रेम में जाने से रोकते हैं। परिणामस्वरूप, उपकरणों की बाहरी दीवारें ठंडी ही रहती हैं, एवं ऊष्मा ठीक उसी जगह जाती है जहाँ उसे जाना चाहिए।
सामग्रियों संबंधी विवरण
हम आवरण बनाने हेतु स्टेनलेस स्टील ही उपयोग करते हैं; क्योंकि यह कठिन परिस्थितियों में भी टिक सकता है। सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में उत्पन्न होने वाले तीव्र तापीय भारों के बावजूद भी यह विकृत नहीं होता।
लेकिन वास्तविक चाल तो आकार-विन्यास में ही है… आवरण को लैंप को ठीक उसी जगह पर रखना होता है। यदि रिफ्लेक्टर कुछ मिलीमीटर भी विचलित हो जाए, तो वर्कपीस पर गर्म बिंदु बन जाते हैं, जो एक समस्या है।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य
इन आवरणों के कारण जगह की कमी हो जाती है… इन्हें सीधे हीटिंग कोइल की जगह पर रखना संभव नहीं है। रिफ्लेक्टर की गहराई का भी ध्यान रखना आवश्यक है… ताकि आवरण गर्म न हो जाए।
एक और सुझाव – वायरिंग हेतु उच्च-तापमान वाले तारों का ही उपयोग करें। आवरण भले ही फ्रेम की रक्षा करे, लेकिन लैंप हेड फिर भी बहुत गर्म हो जाता है।
इसके अलावा, वेंटिलेशन का भी ध्यान रखें… यदि हवा का प्रवाह रुक जाए, तो लैंप की उम्र कम हो जाएगी। हवा का प्रवाह जारी रखें, ताकि लैंप लंबे समय तक काम कर सके।