क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में स्वच्छ रखना
यदि आप क्लास 100 वाले वातावरण में सिलिकॉन वेफरों को गर्म कर रहे हैं, तो आपको पहले से ही इस समस्या के बारे में पता होगा। थोड़ी सी धूल – मात्र एक माइक्रॉन की मात्रा में भी – ही आपके सभी उत्पादों को नष्ट कर सकती है।
समस्या यह है कि अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व गंदे होते हैं। जब भी ये गर्म/ठंडे होते हैं, तो इनसे सूक्ष्म कण निकलते रहते हैं। यह तो वास्तव में एक बड़ी समस्या है।
हम इस समस्या को हल करने हेतु उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज आईआर लैंपों का उपयोग करते हैं। ये लैंप विशेष रूप से सेमीकंडक्टर उद्योग हेतु ही बनाए गए हैं… जहाँ “स्वच्छता” का अर्थ हमारे लिए होने वाले अर्थ से बिल्कुल अलग है।
कणों के खिलाफ लड़ाई
हम अत्यंत कम दूषण वाले फ्यूज्ड सिलिका का उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसा करने से लैंप से धात्विक आयन या अन्य कण नहीं निकलते।
इन लैंपों को सील करने से पहले, हम इन्हें बहुत ही सावधानी से साफ करते हैं… ताकि लैंप से कोई भी दूषक निकलने n पाए। इस तरह, जब आप स्विच चालू करते हैं, तो वेफर पर केवल इन्फ्रारेड विकिरण ही पड़ता है… कुछ और नहीं।
सही तापमान प्राप्त करना
यहाँ सिर्फ स्वच्छता ही महत्वपूर्ण नहीं है… बल्कि सटीकता भी आवश्यक है। हम इन लैंपों को ऐसे ही ट्यून करते हैं कि वे स्थिर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड विकिरण ही उत्पन्न करें… ताकि वेफर पर समान रूप से गर्मी पहुँच सके। इस तरह वेफर पर कोई ठंडा स्थान नहीं रहता।
एक बात ध्यान रखें…
उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज थोड़ा नाजुक होता है… यह तो गर्मी को सह सकता है, लेकिन इसे गिरने या टकरने का झटका नहीं सह सकता।
और एक सुझाव – वैक्यूम-अनुकूल माउंटिंग हार्डवेयर का ही उपयोग करें… वरना आप अपने चैम्बर में फिर से दूषण ला रहे हैं… जिससे पूरा उद्देश्य ही व्यर्थ हो जाएगा।
इन लैंपों को अपने सिस्टम में लगाना
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से ही लगाया जा सके… ये आपके मौजूदा सिस्टम के साथ ही मेल खाते हैं… इसलिए आपको पावर सप्लाई को फिर से डिज़ाइन करने की आवश्यकता ही नहीं है।
बस एक बात ध्यान रखें – अपनी कूलिंग सिस्टम की जाँच करें… यह वेफर से निकलने वाली गर्मी को सह सके… वरना फिलामेंट जल जाएगा।