http://warm-ir-heater-ware.com/he/tags/%D7%9E%D7%A1%D7%9C%D7%95%D7%9C/ Recent content in מסלול on Warm IR Heating Hardware Hugo he Sat, 06 Jun 2026 00:55:00 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/he/posts/wafer-track-heating-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 00:55:00 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/he/posts/wafer-track-heating-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="נורת חימום למסלול וופרים"></p> <p>בקומת הליתוגרפיה, אפיית רכות שמשתנה אפילו במעלה אחת מוסרת את עובי הפוטורזיסט מהתקן. אי-הומוגניות באפיית הקשה? זו הזמנה לקריסת הדפוס. מנורות החימום במסלול הוויפר אינן רק חלקים – הן העוגן התרמי ששומר על תהליך יציב, משמרת אחרי משמרת.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת למכסה המנוע</strong><br> בנינו את המנורה סביב פולטי הלוגן בתדר קצר-גל אינפרא אדום (SWIR) באריזה של קוורץ. המטרה היא העברת אנרגיה ישירה לפוטורזיסט, ללא חימום תא האפייה. מקבלים אחידות תרמית ברמת הוויפר בתוך ±0.1°C על פני משטח האפייה, ויציבות נקודת הגדרת הטמפרטורה שנשמרת לאורך קצב הייצור 24/7. תפוקת החום נשארת עקבית בין 100°C ל-250°C, עם התאוששות תת-שנייה לאחר טעינת הוויפר – כך שהתקציב התרמי נשאר מדויק. האריזה מתאימה לחדרים נקיים ב-Class 1–100, אושרה ללא פליטת חלקיקים בזיהוי בזמן אמת, ומותאמת לממשקי הרכבה ופורמט של הפלטפורמות הראשיות למסלול הוויפר.</p>