http://warm-ir-heater-ware.com/he/tags/%D7%90%D7%A4%D7%99%D7%98%D7%A7%D7%A1%D7%99%D7%94/ Recent content in אפיטקסיה on Warm IR Heating Hardware Hugo he Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/he/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 01:08:06 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/he/posts/epitaxy-heating-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="נורת חימום באינפרא אדום למטרות אפיטקסיה"></p> <p>על הקו, יש וופר בגודל 200 ממ שמחכה לרגע שבו ניתן יהיה למרוח עליו חומר פוטורזיסט. תהליך החימום אינו אופציונלי – הוא חלק בלתי נפרד מהתהליך. שינוי של חלק קטן ממעלה בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי במידות הקריטיות של הוופר. התהליך יהיה כשלון. אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום כדי למנוע את האובדן הזה.</p> <p>מבחינה טכנית, חשוב להשתמש בנורות אינפרא-אדום בעלות גלים קצרים, כדי לאפשר חימום מהיר וישיר. הספקטרום של האור חודר בצורה יעילה לתוך הסיליקון והשכבות הדקות. המערכת שומרת על אחידות טמפרטורית של ±0.1°C בכל אזור העיבוד, והחזריות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.2°C בין סיבובים שונים.</p>