Sur le plan de la lithographie, une légère variation de température pendant le processus de cuisson peut perturber le contrôle de la largeur des...

Sur la ligne de 300 mm, une déviation de 2 °C pendant le processus de cuisson n’est pas simplement un décalage dans la précision des lignes tracées...

Sur le plancher de production, on apprend vite qu’un décalage de seulement un demi-degré lors d’un bake de photoresist peut décaler les largeurs de...