Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous chauffez des plaques de silicium dans un environnement de classe 100, vous connaissez déjà le problème : une seule petite particule de poussière – rien que un micron – suffit pour rendre toute la production invendable.
Le problème, c’est que la plupart des éléments de chauffage standards produisent des débris microscopiques à chaque fois qu’ils se réchauffent et se refroidissent. C’est un véritable désastre en puissance.
Nous résolvons ce problème en utilisant des lampes infrarouges en quartz synthétique de très haute pureté. Elles ont été conçues spécialement pour l’industrie des semi-conducteurs, où le concept de « propreté » a un sens complètement différent de celui utilisé ailleurs.
La lutte contre les particules
Nous utilisons du verre fusionné avec un niveau d’impuretés extrêmement bas. Pourquoi ? Parce que cela empêche la lampe de libérer des ions métalliques ou de se détériorer sous l’effet de la chaleur.
Avant de sceller ces tubes, nous les soumettons à un processus de nettoyage rigoureux. Nous éliminons ainsi tous les contaminants possibles sur leurs surfaces. Ainsi, lorsque vous actionnez l’interrupteur, seule la radiation infrarouge atteint la plaque de silicium. Rien d’autre : ni éclats, ni poussière, aucune surprise.
Obtenir la température idéale
Il ne s’agit pas seulement d’assurer la propreté, mais aussi de garantir une précision maximale. Nous ajustons ces lampes afin qu’elles émettent des ondes infrarouges de courte longueur d’onde. Ces ondes pénètrent rapidement et uniformément dans la surface de la plaque de silicium. Vous obtenez ainsi un réchauffement rapide, sans aucune zone froide sur le substrat.
Cependant, il y a un bémol : le quartz de haute pureté est assez fragile. Il peut supporter les chocs thermiques, mais pas les chutes ou les impacts.
Un conseil : utilisez uniquement des supports compatibles avec le vide. Sinon, vous risquez d’introduire de nouvelles sources de contamination dans votre chambre, ce qui annule tout l’avantage de cette solution.
Installation dans votre système
Ces lampes ont été conçues pour être facilement remplacées. Elles correspondent aux dimensions et aux spécifications électriques des systèmes que vous utilisez déjà. Vous n’avez donc pas besoin de passer votre week-end à redessiner l’alimentation électrique.
Une dernière chose à vérifier : assurez-vous que votre système de refroidissement est capable de gérer la chaleur rayonnée par la plaque de silicium. Sinon, le filament de la lampe s’usera bien plus rapidement que prévu.