دیگر اجازه ندهید گرمای اضافی در دستگاههای شما هدر رود!
بیشتر عناصر گرمایشی، کار خود را به خوبی انجام نمیدهند؛ آنها انرژی را در تمام جهات پخش میکنند. در کارخانههای تولید نیمههادی، این موضوع واقعاً مشکلساز است.
فکر کنید: شما سعی میکنید ویفر را گرم کنید، اما در عین حال، داخل دستگاه نیز گرم میشود. این کار باعث هدررفت انرژی میشود و همچنین خطرات ایمنی برای افرادی که در کنار دستگاه کار میکنند، ایجاد میکند. ما این مشکل را با استفاده از سیستم گرمایش موجالکترومغناطیسی جهتدار، حل میکنیم.
نحوه کارکرد آن:
در عوض اینکه گرما وارد بدنه دستگاه شود، لامپهای موجالکترومغناطیسی جهتدار، از منعکسکنندهها و تنظیمات فرکانسی برای هدایت انرژی به دقیقاً همان جایی که لازم است، استفاده میکنند. این کار باعث میشود که دیوارههای دستگاه به «مناطق گرم» تبدیل نشوند؛ بنابراین، تکنسینها در حین تعمیرات، دچار سوختگی نخواهند شد و همچنین قاب دستگاه نیز به دلیل انبساط حرارتی، تغییر شکل نخواهد داد. گرما فقط در همان جایی که لازم است، باقی میماند.
نکات مهم:
شما میتوانید لامپهای مورد نیاز خود را بر اساس میزان گرمایی که نیاز دارید، انتخاب کنید. ما معمولاً از لولههای کوارتز با امواج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لولهها به سرعت گرم میشوند. این لامپها از ولتاژهای صنعتی استفاده میکنند، بنابراین میتوانند به راحتی در شبکه برق موجود شما نصب شوند. اگر برای فرآیندهای سریع، به لامپهایی با توان بالا نیاز دارید، مطمئن شوید که فنهای خنککننده شما قوی بوده و بتوانند گرمای تولید شده توسط لامپها را کنترل کنند.
تأثیر این روش بر کارخانه:
بزرگترین تفاوت این است که دیوارههای دستگاه همچنان خنک باقی میمانند. شما دیگر نیازی به مبارزه با گرمای محیطی نخواهید داشت. این موضوع برای تیم شما بسیار مفید است؛ همچنین، از آسیب رسیدن به تجهیزات الکترونیکی حساس نیز جلوگیری میشود.
تغییر از سیستم گرمایش قدیمی به سیستم جدید، معمولاً به اندازه تعویض گرمکنهای معمولی ساده است. شما کنترل بهتری بر دمای ویفر خواهید داشت، و محیط کاری امنتری برای افرادی که در کنار دستگاه کار میکنند، فراهم خواهد شد.
تنها نکته مهم این است که چون پرتوهای گرما بسیار دقیق هستند، باید در هنگام نصب، دقت بیشتری داشته باشید. اگر کمی اشتباه کنید، نقاط سردی روی سطح ویفر ایجاد خواهد شد.