حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰
وقتی که از اتاقهای کلاس ۱۰۰ برای فعالیتهای مربوط به نیمههادیها استفاده میکنیم، حتی کمترین مقدار گرد و غبار نیز میتواند مشکلات جدی ایجاد کند. در دنیای نیمههادیها، دشمنان واقعی، گازهایی هستند که از مواد آزاد میشوند؛ همچنین موادی که به تدریج از هم پاشیده میشوند. برای جلوگیری از این اتفاقات، از ترکیب سادهای استفاده میکنیم: لامپهای مبتنی بر کوارتز با خلوص بالا، و سیمهای عایقبندی شده با تفلون.
ویژگیهای کوارتز با خلوص بالا
برای ساخت پوشش لامپها، از کوارتز مصنوعی استفاده میکنیم. اکثر انواع شیشهها نمیتوانند گرما را تحمل کنند؛ زیرا در این صورت یونها از آنها خارج میشوند یا تکههای ریزی از آنها جدا میشود. این موضوع برای ویفرهای نیمههادی بسیار مشکلساز است.
این لامپها از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنند؛ بنابراین انرژی مستقیماً به سمت سطح مورد نظر منتقل میشود. این موضوع بسیار مهم است، زیرا جلوی جریانهای هوایی را میگیرد و از تهنشین شدن گرد و غبار روی سطح مورد نظر جلوگیری میکند.
چرا از تفلون استفاده میکنیم؟
سیمهای PVC یا سیلیکونی معمولی، در برابر گرما ضعیف هستند؛ وقتی گرم میشوند، ترکیبات آلی فراری را آزاد میکنند. این گازها روی سطح سیلیکون تهنشین میشوند و در نتیجه، کل محصولات تولید شده بیارزش میشوند.
بنابراین از سیمهای پوششدار با تفلون استفاده میکنیم؛ این سیمها میتوانند گرما را تحمل کنند، بدون اینکه آسیب ببینند. هیچ دودی تولید نمیشود و هیچ تکهای از سیم جدا نمیشود؛ فقط انرژی تمیزی در دسترس است.
نکاتی برای مهندسان
باید مراقب باشید؛ کوارتز با خلوص بالا شکننده است. البته در برابر شوکهای حرارتی مقاوم است، اما اگر در هنگام نصب به آن ضربه بخورد، ممکن است ترک بخورد. مطمئن شوید که قطعات مورد استفاده برای نصب، کمی انعطافپذیر باشند تا نقاط فشار ایجاد نشود.
همچنین، مراقب سیمها باشید؛ تفلون به اندازه سیلیکون انعطافپذیر نیست. اگر سیمها خم شوند، عایقبندی آنها از بین میرود. بهتر است سیمها کمی شل باشند تا مشکلی پیش نیاید.
خلاصه
وقتی کوارتز را با تفلون ترکیب میکنیم، سیستم گرمایشیی به دست میآید که هیچ نشتی ندارد. شما میتوانید چگالی گرمایی مورد نیاز برای خشک کردن سریع مواد را داشته باشید، اما دیگر نیازی نیست با ذرات موجود در هوا مبارزه کنید. این روش واقعاً مؤثر است.