Justo antes del empaquetado, la humedad que queda después de la limpieza no se queda allí; puede migrar hacia el material que sirve para encapsular el componente. Esto altera el coeficiente de expansión térmica y aumenta las posibilidades de que ocurra delaminación posteriormente. Y si aún utilizas placas calentadoras convencionales, sabrás que hay que luchar constantemente contra los problemas relacionados con las burbujas en los bordes de la pieza, además de enfrentarse a la generación de partículas, algo que no se puede permitir. Es necesario contar con procesos de secado y curado del fotorevestimiento que sean precisos, reproducibles y eficientes desde el punto de vista térmico.
Lo que realmente importa en la práctica Nos apoyamos en láseres de onda corta de tipo NIR, con emisores de cuarzo, ajustados a las bandas de absorción del agua y los disolventes. Esto permite un calentamiento rápido bajo la superficie, sin dañar los materiales orgánicos. En toda la superficie activa, la uniformidad se mantiene dentro de los ±0.1°C, y las tasas de cambio de temperatura se controlan dentro de los ±0.5°C/s. La plataforma es compatible con salas limpias de clase 1–100. Podemos verificar que no hay generación de partículas menores a 0.1 μm, a una velocidad de 0.35 μm/min. Los perfiles de secado suave y duro son reproducibles de lote en lote, lo que garantiza que las dimensiones críticas se mantengan dentro de los parámetros establecidos.
Por qué esto funciona bien en la etapa previa al empaquetado En la fabricación previa al empaquetado, el proceso es sencillo: secado de la oblea, seguido del procesamiento y curado del fotorevestimiento. El uso de láseres NIR reduce el consumo energético, acorta el tiempo de secado y disminuye la cantidad de humedad restante. El resultado es ciclos más rápidos, menos humedad en la oblea y menos rechazos debido a burbujas en los bordes o a disolventes residuales. Dado que la misma plataforma se utiliza tanto para el secado como para el curado, la validación del proceso se vuelve más simple, y se reducen las piezas de repuesto necesarias.
Las lecciones que se aprenden por experiencia Los láseres NIR funcionan mediante luz en línea recta, por lo que se necesitan elementos reflectantes y una orientación adecuada de la oblea para mantener la uniformidad deseada. La distancia entre los emisores y la densidad de potencia deben ajustarse según el tamaño de la oblea y el espesor de las capas de material. Trabajamos juntos para determinar estos parámetros. Se recomienda realizar pruebas preliminares para ajustar las tasas de calentamiento y los tiempos de permanencia en cada fase del proceso. Una vez que todo está configurado, el proceso funciona con mínimas desviaciones.