Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält Wenn man Siliziumwafer in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzt, kennt man das Problem...

Warum Sie aufhören sollten, mit heißer Luft auf Ihre MEMS-Wafer einzuarbeiten Wenn Sie schon einmal in einer MEMS-Fabrik gearbeitet haben, kennen Sie...

Die Reinheit der Klasse-100-Reinräume aufrechterhalten Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, muss man ständig gegen das Unsichtbare...

Warum goldbeschichtete Reflektoren für die Aushärtung von Wafern wirklich wichtig sind Beim Aushärten von Wafern muss man mit einem begrenzten...

Warum wir auf Infrarot-Härtung umsteigen Die Halbleiterindustrie wechselt endlich von den alten Konvektionsöfen ab. Das ist logisch – angesichts der...

Umgang mit Defekten der Glühbirnen bei der Erhitzung von Wafern unter hohem Lastaufkommen Wenn man die Heizsysteme für Wafern bis an ihre Grenzen...

Einführung Kommen wir direkt zum Punkt: Der Betrieb einer Halbleiterwafernfabrik erfordert Präzision – jeder einzelne Detail spielt eine Rolle. Wenn...

In der Fertigungshalle gibt es keine Chance zur Korrektur, wenn die Temperatur auch nur geringfügig abweicht. Eine Abweichung von einigen...

In der Fertigungshalle bedeutet ein defekter Lampeninhalt des Wafer-Trockners nicht nur Stillstand – es kommt auch zu einem sofortigen Stopp bei der...

Im Bereich der Lithografie kann eine geringe Temperaturschwankung während des Trocknungsprozesses dazu führen, dass die Kontrolle über die Dicke der...

Auf der Linie ist das Trocknen von Wafern nicht nur ein weiterer Schritt. Es ist der letzte thermische Prüfpunkt, bevor Sie den Ertrag fixieren. Ein...

Auf dem Fertigungsboden ist ein Spül- und Trockner, der Wasserflecken hinterlässt oder die Temperatur nicht innerhalb von ±0,1°C halten kann, kein...

Auf dem Lithografie-Floor wirft bereits ein Grad Drift beim Soft Bake die Fotolackdicke außerhalb der Spezifikation. Uneinheitlichkeiten beim Hard...