http://warm-ir-heater-ware.com/de/tags/mikro/ Recent content in Mikro on Warm IR Heating Hardware Hugo de Wed, 01 Jul 2026 06:23:54 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/de/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ Wed, 01 Jul 2026 06:23:54 +0800 http://warm-ir-heater-ware.com/de/posts/micro-led-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-ware.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Heizgerät zur Trocknung von Micro LED Wafern"></p> <p>In der Fertigungshalle gibt es keine Chance zur Korrektur, wenn die Temperatur auch nur geringfügig abweicht. Eine Abweichung von einigen Hundertsteln eines Grades während des Trocknungsprozesses kann dazu führen, dass die gesamte Micro-LED-Epitaxialwafer zerstört wird. Man braucht daher einen Trockenheizer, der die Temperatur über die gesamte Oberfläche hinweg bei ±0,1°C hält – bei jedem Trocknungsprozess, bei jeder Schichtwechsel.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotkomponenten mit schneller Reaktionszeit und geschlossener Regelung, damit das thermische Profil von Schicht zu Schicht konstant bleibt. Die Homogenität auf Waferniveau wird auf ±0,1°C begrenzt. Die Heizzone ist so konzipiert, dass sie in Reinräumen der Klasse 1–100 betrieben werden kann – ohne jegliche Partikelbildung.</p>