IR on Warm IR Heating Hardware

Präziser IR Sensor für Wafer

Tue, 28 Jul 2026 02:40:40 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält

Wenn man Siliziumwafer in einem Reinraum der Klasse 100 erhitzt, kennt man das Problem bereits: Schon ein einziger Staubkorn – buchstäblich nur ein einziger Mikrometer – kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.

Das Problem ist, dass die meisten Standardheizelemente schmutzig sind. Sie werfen bei jeder Erwärmung und Abkühlung mikroskopisch kleine Partikel ab. Das ist eine Katastrophe, die nur darauf wartet, einzugreifen.

Wir lösen dieses Problem, indem wir Hochreinquarzlampen verwenden. Diese sind speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt worden – dort bedeutet „sauber“ etwas völlig anderes als im Alltag.

Keramische Endkappe für IR Emitter

Thu, 23 Jul 2026 09:16:26 +0800

Stoppen Sie den Wärmeverlust: Warum Keramikendeabschlüsse wichtig sind
Das Problem mit herkömmlichen Infrarotstrahlern ist, dass sie die Wärme überallhin abgeben. In einem beengten Halbleiterwerkzeug ist das ein Albtraum. Wenn die Infrarotenergie das Wafer nicht erreicht, sondern stattdessen die Innenseite des Gerätekastens trifft, entsteht eine Überhitzung. Plötzlich ist das Gehäuse so heiß, dass es jemanden verbrennen kann. Zudem muss das Kühlsystem besonders intensiv arbeiten, um mit der Wärme umzugehen. Das ist eine Energieverschwendung und ein großes Problem.

Aluminiumreflektor für IR Lampe

Sun, 12 Jul 2026 05:32:48 +0800

Wie man seine Wafern schützt: Die Wahrheit über Defekte an IR-Lampen

Seien wir ehrlich: Eine geplatzte IR-Lampe ist ein echter Albtraum. Einen Moment lang funktioniert alles einwandfrei – und im nächsten Moment platzt die Quarzröhre. Plötzlich fallen Partikel und Chemikalien auf die Wafern herab. Die Produktionscharge ist ruiniert – die Anlage bleibt stehen. Es entsteht ein Chaos, mit dem man wirklich nicht umgehen möchte.
Genau deshalb bauen wir unsere Heizsysteme auf diese Weise.

Warum der Aluminiumreflektor wichtig ist

Man könnte meinen, dass der Aluminiumreflektor nur dazu dient, die Wärme in die richtige Richtung zu lenken. Doch er tut viel mehr als das.
Indem die IR-Strahlung genau dorthin gelenkt wird, wo sie hingehört – direkt auf die Wafer – verhindern wir, dass die Lampenhülle zu viel Wärme aufnimmt. Dadurch bleibt die Temperatur der Röhre konstant.
Wenn man versucht, eine Lampe ohne einen geeigneten Reflektor zu betreiben, sammelt sich die Wärme an den falschen Stellen an. Das setzt dem Quarz enormen Stress aus – und wenn der Quarz unter diesem Stress steht, platzt er.