Im Bereich der Lithografie kann eine geringe Temperaturschwankung während des Trocknungsprozesses dazu führen, dass die Kontrolle über die Dicke der...

Bei der 300-mm-Linie bedeutet eine Abweichung von 2 °C während des Weichbrennvorgangs nicht nur eine Verschiebung der Linienbreite – es handelt sich...

Auf dem Fertigungsboden lernt man schnell, dass eine Drift von nur einem halben Grad während des Photoresist-Backvorgangs ausreicht, um die...