In der Fertigungseinrichtung hängt die Qualität der Quantenchips nicht vom Zufall ab. Entscheidend ist vielmehr die Steuerung der Temperatur. Schon ein paar Grad Abweichung während des Trocknungsprozesses des Photolacks können dazu führen, dass die Strukturen der Quantenbits zerstört werden – mit dem Ergebnis, dass wöchentagelange Arbeiten an der Prozessintegration umsonst waren. Wir haben daher einen Heizer entwickelt, der diese Unsicherheiten beseitigt.
Was wirklich wichtig ist Wir nutzen kurzwelliges Infrarotlicht durch ein Quarzfenster – zusammen mit Heizelementen aus Kohlenstofffasern. Dadurch wird die Wärme schnell und effizient übertragen. In der aktiven Zone bleibt die Temperatur konstant bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen verschiedenen Prozessschritten beträgt ≤0,05°C. In Reinräumen der Klasse 1–100 wird durch das Design eine geringe Ausgasung gewährleistet, außerdem entstehen während der thermischen Zyklus keine Partikel. So ist eine zuverlässige Funktion 24/7 möglich – ohne unplanmäßige Ausfälle. Die dokumentierte Lebensdauer des Heizers liegt bei über 50.000 Stunden.
Warum dieser Heizer zum Quantenprozess passt Der Heizer ist speziell auf die Schritte ausgelegt, die für die Herstellung von Quantenchips notwendig sind: Lithografie, Weichtrocknung, Härtebacken sowie die Kontrolle der Temperatur. Die Temperatur stabilisiert sich schnell, dadurch sinkt die Standby-Zeit und das Profil des Photolacks bleibt stabil. Dadurch wird eine bessere Kontrolle der Genauigkeit gewährleistet, es müssen weniger Produkte nachbearbeitet werden, und die Prozesszeit lässt sich besser planen. Zudem sinkt der Energieverbrauch – dank der schnellen Temperaturanpassung wird weniger Energie pro Wafer benötigt.
Was Sie vor der Installation beachten müssen Für die Installation ist eine eigene, abgeschirmte 24VDC-Spannungsversorgung sowie eine gute thermische Isolation von den angrenzenden Modulen erforderlich. Ohne das wird die Stabilität der Temperatur beeinträchtigt. Der Heizer unterstützt das SECS/GEM-Protokoll – doch die Integration funktioniert nur, wenn von vornherein die Kommunikation zwischen Maschine und Equipment korrekt eingestellt wird. Planen Sie außerdem frühzeitig die Platzierung des Heizers ein – die Luftzirkulation und die Freiräume haben direkten Einfluss auf die Konstanz der Temperatur.
Wir entwickeln Lösungen, die optimal auf den jeweiligen Prozess abgestimmt sind. So können Sie ohne Bedenken den Heizer einsetzen.