Žárovka on Warm IR Heating Hardware

Laciná žárovka pro sušení destiček

Thu, 18 Jun 2026 00:52:08 +0800

V prostředí litografie může mírné kolísání teploty během sušení poškodit kontrolu tloušťky čáry. Nadměrně vysoká teplota na jednom místě a nízká na druhém zase přímo vede k selhání fotorezisty. Sušení čipů není jen další úkon – jedná se o faktor, který ovlivňuje kvalitu výrobků. Naše žárovky určené k sušení čipů jsou navrženy tak, aby tento faktor zůstal pod kontrolou, i když se snažíme šetřit náklady.

Co je z technického hlediska důležité: Žárovka je nastavena tak, aby zajistila tepelnou jednotnost na povrchu čipu v rozsahu ±0,1 °C. Díky tomu dostává fotorezistent v každém cyklu stejné tepelné podmínky. Krátkovlnné infračervené záření se rychle změní a opět se rychle vrátí do normálu, takže lze udržet čas cyklu v mezích bez nadměrného zvyšování teploty. Kvarcové pouzdro je vhodné pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Geometrie vlákna a podpěr je tak navržena, aby během provozu vznikalo co nejméně částic. Výstupní hodnota zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin. Žárovka se také snadno montuje do standardních držáků používaných v modulech na sušení čipů.

Kvartová halogenová zářivka pro polovodiče

Wed, 17 Jun 2026 11:10:40 +0800

Na lince 300 mm není odchylka o 2 °C během procesu měkkého zahřívání jen posunem v rozsahu CD. Jedná se o ztrátu velkého množství waférů. Proto jsme vyvinuli kvartovou halogenovou žárovku, která udržuje teplotní podmínky v požadovaném rozsahu, i když je provozní zařízení v plné kapacitě.

Co je důležité uvnitř zařízení
Emitorem je krátkovlnný halogen umístěný v obalu z vysoce čistého kvartzu. Ten vydává rychlé, radiální teplo s nízkou tepelnou setrvačností. Na povrchu waféru zůstává rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, takže fotoresistent dostává konzistentní teplotu bez výskytu „horkých bodů“. Profil žárovky umožňuje udržení přesných teplotních podmínek jak během procesu měkkého, tak i tvrdého zahřívání. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní, což umožňuje udržet kritické rozměry v požadovaných mezích i během dlouhodobého provozu. Kompatibilita s prostředím tříd 1–100 pramení z použití materiálů s nízkou mírou uvolňování plynů a z konstrukce, která nevytváří nadměrné množství částic při zahřátí.

Infračervená žárovka se zlatým reflektorem

Thu, 04 Jun 2026 00:38:04 +0800

Na výrobním podlaží se rychle naučíte, že odchylka o půl stupně při pečení fotorezistu může dostat šířku čar do takové míry, že to povede k vyřazení velkého množství waferů. Čas provozu a opakovatelnost nejsou „příjemné bonusy“. To je proces.

Co skutečně záleží na pozadí

Infražárovku jsme navrhli se zlatým reflektorem, aby poskytovala stabilní, směrové teplo s úzkou spektrální kontrolou. Výsledkem je teplotní uniformita na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C na pečící ploše. Zlatý reflektor zvyšuje radiační účinnost, což zkracuje čas ohřevu a ustálený bod se rychleji stabilizuje. Po více než 5 000 hodinách provozu dosahujete konzistentního výstupu s poklesem intenzity méně než 5 %. A konstrukce zajišťuje nulovou generaci částic, což je důležité v čistých prostorách třídy 1–100.