V prostředí litografie může mírné kolísání teploty během sušení poškodit kontrolu tloušťky čáry. Nadměrně vysoká teplota na jednom místě a nízká na...

Na lince 300 mm není odchylka o 2 °C během procesu měkkého zahřívání jen posunem v rozsahu CD. Jedná se o ztrátu velkého množství waférů. Proto jsme...

Na výrobním podlaží se rychle naučíte, že odchylka o půl stupně při pečení fotorezistu může dostat šířku čar do takové míry, že to povede k vyřazení...