ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমগুলোকে পরিষ্কার রাখা খুবই কঠিন। ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম পরিচালনা করার সময় আপনাকে অদৃশ্য কণাগুলোর বিরুদ্ধে লড়াই করতে হয়। মাত্র এক মাইক্রন ধূলিও যথেষ্ট হতে পারে পুরো ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করার জন্য। এটা খুবই হতাশাজনক। আর সাধারণত এর জন্য দায়ী হয় আপনার হিটিং উপাদানগুলো।
যদি আপনার ল্যাম্পগুলো থেকে গ্যাস নির্গত হয় বা ছোট ছোট কণাগুলো বের হয়, তাহলে আপনি আপনার প্রক্রিয়াটিকে দূষিত করছেন। এই কারণেই আমরা আমাদের IR ল্যাম্পগুলোর জন্য উচ্চ-ঘনত্বের সিনথেটিক কোয়ার্টজ ব্যবহার করি।
কেন এই উপাদানটি গুরুত্বপূর্ণ?
বেশিরভাগ কাঁচ বা সস্তা কোয়ার্টজ তাপের চাপ সহ্য করতে পারে না। তাপের চাপে এগুলো ভেঙে যায়। সিনথেটিক কোয়ার্টজ খুবই মজবুত; এটা রাসায়নিকভাবে ক্ষয় হয় না এবং এর থেকে কোনো কণা বের হয় না। আমরা নিশ্চিত করি যে কোয়ার্টজটি ভালোভাবে বন্ধ থাকে। এতে করে কোনো ক্ষুদ্র ছিদ্র থাকে না, ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠটি পরিষ্কার থাকে।
সঠিক তাপ পাওয়ার জন্য…
ওয়েফারগুলো কত দ্রুত তাপ পাবে তা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। এটা ঠিক করার জন্য আমরা ফিলামেন্টের ব্যাস ও ভোল্টেজ সামঞ্জস্য করি।
কৌশলটি হলো: শর্টওয়েভ IR রশ্মি লংওয়েভ IR রশ্মির তুলনায় অনেক দ্রুত ওয়েফারের পৃষ্ঠে পৌঁছায়। এর ফলে পুরো ওয়েফারে সমান তাপ বণ্টন হয়।
কিন্তু ভোল্টেজ নিয়ে সাবধান থাকতে হবে। এই ল্যাম্পগুলো খুব গরম হয়। যদি ভোল্টেজ খুব বেশি করা হয়, তাহলে ফিলামেন্টগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে। এটা একটি ভারসাম্যের ব্যাপার। আপনাকে ওয়াটেজ ও ল্যাম্পের কুলিং ক্ষমতার মধ্যে ভারসাম্য রাখতে হবে।
ঝামেলাহীনভাবে ল্যাম্প পরিবর্তন করা…
আমরা এগুলোকে সহজেই পরিবর্তনযোগ্য করে তৈরি করেছি। কোনো ঝামেলা নেই। কানেক্টরগুলো এমনভাবে তৈরি করা হয়েছে যাতে ঘর্ষণের ফলে কোনো ধূলি তৈরি না হয়। কারণ ল্যাম্প পরিবর্তনের সময় আরও ধূলি থাকা খুবই খারাপ।
ল্যাম্পটি ঠিকভাবে স্থাপন করতে হবে। যদি ল্যাম্পটি সামান্যও ভুলভাবে স্থাপন হয়, তাহলে IR রশ্মি ঠিক জায়গায় পৌঁছাবে না, ফলে ওয়েফারে গরম জায়গা তৈরি হবে। আমরা সর্বোচ্চ সতর্কতা অবলম্বন করি যাতে ল্যাম্পটি ঠিক জায়গায় থাকে।
আরেকটি বিষয়…
আপনার টেকনিশিয়ানদের সাবধান থাকতে বলুন। শুধুমাত্র লিন্ট-ফ্রি ওয়্যাপস ও IPA ব্যবহার করুন। কোয়ার্টজে একটি আঙুলের ছাপও উচ্চ তাপমাত্রায় পুড়ে যাবে, ফলে চিরস্থায়ী দাগ থেকে যাবে। এটা ঠিক করা খুবই কঠিন; তাই এড়িয়ে চলাই ভালো।