Trên sàn lithography, quá trình nướng mềm và nướng cứng không chỉ là các bước nhiệt độ—chúng là ranh giới giữa độ chính xác của mẫu và một wafer trở thành phế liệu. Một vài độ sai lệch trên wafer có thể dẫn đến biến động độ rộng đường. Và nếu bước nướng tạo ra các hạt bụi, bạn đang làm ô nhiễm đường dẫn. Chúng tôi đã chế tạo máy sấy hồng ngoại compact cho IC để loại bỏ những biến số đó.
Những điều quan trọng bên trong
Nó sử dụng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn bên trong một buồng tối ưu hóa phản xạ để truyền năng lượng trực tiếp vào photoresist, không phải vào giá đỡ. Trên một wafer 300 mm, độ đồng nhất nhiệt giữ ở mức ±0.1°C, và độ lặp lại giữa các chu kỳ nằm trong khoảng ±0.2°C. Tốc độ tăng nhiệt đạt trên 10°C/s, vì vậy bạn có thể rút ngắn thời gian nướng mà không làm hỏng cấu trúc.
Nó được thiết kế để đặt trong các phòng sạch Class 1–100: các lối đi bằng thạch anh và nhôm anod hóa, vật liệu có độ thoát khí thấp, và một hồ sơ dòng chảy laminar giúp giữ cho số lượng hạt bụi ổn định. Việc phát sinh hạt bụi bằng 0 không phải là một khẩu hiệu—đó là một ràng buộc thiết kế, và chúng tôi xác minh điều này bằng cách giám sát tại chỗ.
Tại sao điều này hoạt động trên dây chuyền IC
Không gian hạn chế và cửa sổ quy trình hẹp. Máy sấy này làm cho quá trình nướng photoresist trở nên xác định, do đó việc kiểm soát CD trở nên chặt chẽ hơn và số lần làm lại giảm. Diện tích nhỏ đủ để đặt ngay bên cạnh đường dẫn với sự làm lại tối thiểu, và nó ổn định nhanh chóng, giảm thời gian ngừng giữa các lô.
Bởi vì bộ phát tác động trực tiếp vào tải và khối lượng nhiệt thấp, mức tiêu thụ năng lượng giảm. Độ tin cậy phụ thuộc vào thời gian hoạt động: các thành phần được đánh giá cho 24/7, và một kiến trúc nhiệt có thể xử lý các lượt chạy liên tiếp mà không bị vượt quá.
Những điều bạn thực sự cần lên kế hoạch
Compact không có nghĩa là cắm và chạy. Bạn vẫn cần có hệ thống thoát khí riêng, cộng với không khí sạch, khô. Các thông số lắp đặt rất chặt chẽ—xác minh sự căn chỉnh với việc chuyển giao wafer và đảm bảo robot có đủ khoảng trống cần thiết.
Nó tích hợp một cách sạch sẽ với các giao diện đường dẫn tiêu chuẩn, nhưng hãy thực hiện một sự xác nhận cụ thể tại chỗ để khóa lại hồ sơ nướng cho lớp photoresist của bạn. Đó là cách bạn giữ cho các con số ổn định trong sản xuất.