لائن پر، 200 ملی میٹر کے ویفرز پروفوٹوریسٹ کے استعمال کا انتظار کر رہے ہیں۔ بیکنگ عمل ضروری ہے؛ یہ تو معیار کا حصہ ہے۔ درجہ حرارت میں چند ڈگریوں کی تبدیلی سے بھی ویفر کے ابعاد تبدیل ہو جاتے ہیں، اور پورا عمل ناکام ہو جاتا ہے۔ ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے انفراریڈ لیمپس کا استعمال کیا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم بات یہ ہے کہ ہم شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) کوارٹز ہیلوجن ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ تیز اور براہِ راست حرارت فراہم کی جا سکے۔ یہ لہریں سلیکون اور پتلی فلموں میں بہتر طریقے سے داخل ہوتی ہیں۔ یہ سسٹم ویفر کے ابعاد کو عملی زون میں ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتا ہے، جبکہ بار بار کیے گئے عملوں میں یہ انحراف ±0.2°C کے اندر رہتا ہے۔
ردِعمل کا وقت 50 ملی سیکنڈ سے کم ہے، لہذا آپ سافٹ بیکنگ، ہارڈ بیکنگ، اور کیورنگ کے دوران درجہ حرارت کو بالکل درست طریقے سے کنٹرول کر سکتے ہیں۔ کلین روم کے ماحول کو بھی ڈیزائن میں شامل کیا گیا ہے؛ کلاس 1–100 کے ماحول میں کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور لیمپوں کے خولوں میں اعلیٰ خالصیت والے مواد استعمال کئے گئے ہیں تاکہ گیسوں کا اخراج کم ہو سکے۔
لیتھوگرافی میں، پروفوٹوریسٹ کی موٹائی کو برقرار رکھنے اور ساکن لہروں کو ختم کرنے کے لئے بار بار بیکنگ ضروری ہے۔ پیکیجنگ میں، انڈرفل کو زیادہ گرم نہ کیے بغیر اسے مضبوط کرنے کے لئے کیورنگ ضروری ہے۔ صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، حلوں کو خارج کرنے کے لئے کنٹرول شدہ حرارت ضروری ہے، تاکہ کوئی مسائل پیدا نہ ہوں۔
یہ لیمپس آپ کو یہ کنٹرول فراہم کرتے ہیں، اور یہ کام کنوکشن اوونوں کے مقابلے میں کم توانائی کے ساتھ انجام دیا جاتا ہے۔ تیز رفتار حرارت کم کرنے سے عمل کا وقت بھی کم ہو جاتا ہے۔ ہم نے دیکھا ہے کہ یہ لیمپ 5,000 گھنٹوں تک کام کرتے رہتے ہیں، اور ان کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی آتی ہے؛ یعنی لیمپوں کی تبدیلی کی ضرورت نہیں پڑتی، اور عمل میں استحکام برقرار رہتا ہے۔
آپ کو پہلے ہی یہ جاننا ضروری ہے کہ انسٹالیشن کے لئے آلے کے میکانی ڈھانچے اور الیکٹریکل انٹرفیس کو مناسب طریقے سے ہم آہنگ کرنا ضروری ہے۔ وولٹیج، کنیکٹر کی قسم، اور کولنگ سسٹم – فورسڈ ایر یا واٹر – کو پہلے ہی معلوم کر لینا ضروری ہے۔
لیمپ کی روشنی سیدھی سمت میں جاتی ہے، لہذا چکس اور فکسچرز سے سایے پڑ سکتے ہیں، جس سے کچھ جگہوں پر سردی پیدا ہو سکتی ہے۔ الائنمنٹ اور بیم کی شکل کو بھی ڈیزائن کا حصہ سمجھا جاتا ہے، نہ کہ بعد میں کیا جانے والا کام۔
آپ کو توقع کرنی چاہیے کہ لیمپ کی کارکردگی کو بہتر بنانے اور سبسٹریٹ کی سطح پر یکسانیت کو یقینی بنانے کے لئے کچھ وقت لگے گا۔ ایک بار جب یہ عمل مکمل ہو جائے، تو عمل میں استحکام برقرار رہتا ہے۔