Чому саме направлене інфрачервоне нагрівання є оптимальним рішенням для чистих кімнат
Більшість нагрівачів працюють шляхом нагрівання повітря навколо себе, а це, у свою чергу, призводить до нагрівання того об’єкта, який потрібно нагріти. У чистій кімнаті для виробництва напівпровідників це створює серйозні проблеми.
Коли нагрівається весь внутрішній простір пристрою, тепло не залишається на місці – воно поширюється. Раптово корпус пристрою стає дуже гарячим на дотик, що є проблемою з точки зору безпеки для операторів. Крім того, чутливі датчики починають давати неточні результати через високу температуру навколишнього середовища.
Як ми це вирішуємо
Ми використовуємо лампи короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Це схоже на ліхтарик, але з ефектом нагріву.
Випромінювання рухається по прямій лінії. Воно не впливає на повітря, яке проходить повз нього; воно спрямоване лише на об’єкт, який його поглинає. Шляхом налаштування фокусної відстані ми можемо спрямувати енергію прямо на пластину чи підложку.
Енергія потрапляє на об’єкт та припиняє своє рух. Оскільки внутрішні стінки пристрою не знаходяться на прямій лінії видимості, вони залишаються прохолодними.
Деталі щодо обладнання
Щоб досягти необхідної щільності тепла без розплавлення корпусу пристрою, ми використовуємо лампи, які працюють у режимі високої інтенсивності протягом короткого часу. Ми використовуємо кварцові скляні корпуси, щоб лампи могли миттєво досягати необхідної температури.
Крім того, ми використовуємо спеціальні відбивачі, щоб зберегти строгость напрямку випромінювання. Це запобігає поширенню тепла в інші частини пристрою.
Одне застереження: слідує уважно стежити за правильністю налаштувань. Якщо дзеркало буде навіть на кілька градусів не на місці, ви більше не будете нагрівати пластину – замість цього будете нагрівати внутрішні елементи пристрою.
Що це означає для вашої повсякденної роботи
Найкраще те, що вам більше не потрібні великі внутрішні вентилятори охолодження. Вони шумні, а ще головніше – створюють частинки пилу, які зовсім не потрібні в чистій кімнаті.
Ви отримуєте швидше нагрівання, а корпус пристрою не буде гарячим на дотик.
Ще одне застереження: переконайтеся, що ваш джерело живлення може витримати початковий сплеск струму, коли лампи починають працювати. Якщо проводка занадто тонка, виникнуть спади напруги, і стабільність температури буде порушена.