Hattın dışında, 200 mm’lik wafeler, fotorezist uygulanması için sıralarını bekliyor. Isıtma işlemi isteğe bağlı değil; bu bir zorunluluktur. Sıcaklıkta meydana gelen en ufak bir değişiklik bile kritik boyutların değişmesine neden olur ve bu da üretimi durdurur. Bu sorunu önlemek için epitaksiyel ısıtma işlemlerinde kızılötesi lambalar kullanıyoruz.
Teknik açıdan önemli olan şeyler şunlardır: Hızlı ve doğrudan ısıtma sağlamak için kısa dalga boylu kızılötesi (NIR) kuvars halojen lambalar kullanılır. Bu lambaların spektrumu silikon ve ince filmlere etkili bir şekilde nüfuz eder. Sistem, işlem bölgesindeki wafelerin sıcaklık değerlerini ±0,1°C aralığında sabit tutar; tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C aralığında kalır.
Adım yanıt süresi 50 ms’in altındadır; bu sayede yumuşak ısıtma, sert ısıtma ve kurutma işlemleri sırasında sıcaklık değerlerini hassas bir şekilde kontrol edebilirsiniz. Temiz oda koşulları da tasarıma dahil edilmiştir: Sınıf 1–100 koşullarında çalışır ve parça üretimi yoktur. Lamba gövdeleri ise yüksek saflıkta malzemelerden yapılmıştır ki böylece gaz salınımı en aza indirgenir.
Neden bu sistemler gereken yerlerde işe yarar? Litografide, fotorezistin kalınlığını sabitlemek ve dalgalanmaları ortadan kaldırmak için tekrarlanabilir bir ısıtma işlemine ihtiyaç vardır. Paketlemede ise, alt katmanları aşırı ısıtmadan bağlantı kuracak bir işlem gereklidir. Temizleme ve kurutma işlemlerinde ise çözücülerin uzaklaştırılması için kontrollü bir ısı gereklidir.
Bu lambalar size bu kontrolü sunar ve bunu konveksiyon fırınlarına kıyasla daha az enerji kullanarak gerçekleştirir. Hızlı ısıl düşüş de işlem süresini azaltır. 5.000 saatten fazla çalıştığında bile verimlilik kaybı %5’in altında kalır; bu da daha az lamba değişimi ve daha stabil bir işlem süreci anlamına gelir.
Önceden bilmeniz gerekenler şunlardır: Kurulum, cihazın mekanik yapısı ve elektriksel arayüzüyle uyumlu olmalıdır. sipariş vermeden önce voltaj, konektör tipi ve soğutma yöntemi (zorlanmış hava veya su) belirlenmelidir.
Lamba çıkışı doğrusal olduğundan, taşıyıcılar ve sabitleyiciler gölgeler oluşturarak lokal soğuk noktalar yaratabilir. Hizalama ve ışın şekillendirme, kurulumun bir parçasıdır; sonradan düzeltilmesi gereken bir durum değildir.
Çıkışın stabil hale gelmesi ve substrat üzerindeki sıcaklık dağılımının doğrulanması için kısa bir süre beklenmelidir. Bir kez ayarlandıktan sonra işlem sabit kalır.