Neden Yöneldirilmiş Kızılötesi Isıtma, Temiz Odalar İçin En İyi Çözümdür?
Çoğu ısıtıcı, etrafındaki havayı ısıtarak çalışır ve böylece ısıtılmak istenen nesneler de ısınır. Ancak yarı iletken üretimi yapılan temiz odalarda bu durum büyük bir sorun teşkil eder.
Bir makinenin tüm iç kısmını ısıttığınızda, bu ısı sadece orada kalmaz; hareket eder. Aniden makinenin gövdesi dokunulduğunda çok sıcak hale gelir; bu da operatörler için ciddi bir güvenlik riskidir. Ayrıca hassas sensörler de ortamdaki yüksek sıcaklık yüzünden yanlış değerler vermeye başlar.
Bunu nasıl çözüyoruz?
Biz yerine kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bunu bir el feneri gibi düşünün, ancak burada ısı yerine enerji kullanılıyor. Enerji düz bir hat üzerinden ilerler; geçtiği havayı rahatsız etmez; sadece enerjiyi emen nesneye etki eder. Odak uzaklığını ayarlayarak bu enerjiyi doğrudan wafer veya substrata yönlendirebiliriz. Enerji hedefe ulaştığında orada kalır. Böylece ekipmanın iç duvarları soğuk kalır.
Donanım açısından detaylar
Gerekli ısı yoğunluğunu elde etmek için lambaları yüksek yoğunlukta ve kısa süreli olarak kullanıyoruz. Lambaların anında ısınabilmesi için kuvars cam kılıflar kullanıyoruz. Ayrıca, ışının dağılmasını önlemek için özel yansıtıcılar kullanıyoruz. Bu sayede ısı makinenin diğer kısımlarına yayılmaz.
Dikkat edilmesi gereken bir nokta: Aynanın hizasına dikkat edin. Eğer ayna birkaç derece bile saparsa, artık waferi ısıtmıyorsunuz; bunun yerine makinenin iç kısımlarını yakıyorsunuz.
Günlük kullanım açısından ne anlama geliyor?
En iyi yanı şu ki, devasa iç soğutma fanlarını kullanmanıza gerek yok. Bu fanlar gürültülüdür ve daha da önemlisi, temiz odalarda asla olmaması gereken parçacıkları ortaya çıkarır. Daha hızlı ısınma süreleri elde edersiniz ve makinenin gövdesi de elinizi yakmaz.
Bir uyarı: Lambalar çalışmaya başladığında güç kaynağınızın başlangıçtaki akım yükünü karşılayabildiğinden emin olun. Eğer kablolarınız çok inceyse, voltaj düşüşleri yaşanır ve sıcaklık kontrolü bozulur.